Sistema de controlo da temperatura de líquidos fluorados

O sistema de controlo da temperatura de arrefecimento e aquecimento com líquido fluorado é amplamente utilizado no processo de fabrico de semicondutores para controlar a temperatura da câmara de reação, o controlo da temperatura da placa de dissipação de calor e o controlo da temperatura do fluido não inflamável onde é necessária a transferência de calor. É adequado para o processo de fabrico de pastilhas semicondutoras, dispositivos de energia e controlo da temperatura de arrefecimento e aquecimento do equipamento de aviónica.

Os fluidos fluorados são produtos de baixa toxicidade, não inflamáveis e de elevado desempenho que não afectam o desenvolvimento sustentável do ambiente e podem reduzir as emissões de gases com efeito de estufa. Ao mesmo tempo, de acordo com as características voláteis do líquido fluorado, a conceção da junta e a conceção da vedação do sistema são reforçadas para garantir a vida útil do meio.