FLT 5℃~-40℃

Utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura na produção de semicondutores e nos processos de ensaio, com um aquecimento até 40 ° C utilizando um método de aquecimento por gás quente de compressor

Refrigerador de arrefecimento

Precisão da temperatura±0.1℃
Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
RefrigeranteR404A
Gama de potência380V 3.5kW~16kW

refrigerador de refrigeração refrigerador de semicondutores

INQUÉRITO

Descarregamento de dados do produto

manual.pdf

Controlo da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta um design totalmente fechado de aquecimento a gás quente do compressor, e a máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end

Detalhes de configuração

Modelo	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
Controlo da temperatura	5℃～40℃
Precisão da temperatura	±0.1℃
Controlo do fluxo	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Capacidade de refrigeração@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Volume de líquido em circulação interna	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacidade do depósito de expansão	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R410A
Refrigerante secundário	Óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, DI, etc. (a temperatura DI tem de ser controlada acima de 10 ℃)
Interfaces de entrada e saída	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Saída da água de arrefecimento	G1/2	G1/2	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
Caudal de água de arrefecimento@20℃	1,5m³/h	2m³/h	2,5m³/h	4m³/h	4,5m³/h	5,6m³/h	9m³/h
fonte de alimentação 380V	3,5 kW	4kW	5,5 kW	7kW	9,5 kW	12kW	16kW
Extensão da temperatura	Ao adicionar um aquecedor elétrico, expande a gama de temperaturas de -25 ℃ a 80 ℃

Descrição do produto

O dispositivo de controlo da temperatura dos semicondutores Chiller é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores. Os seus produtos incluem o controlo da temperatura do líquido fluorado (mínimo de -100 graus), mudança rápida de temperatura do gás de arrefecimento e aquecimento, mudança rápida de temperatura do mandril, máquina de refrigeração a gás de baixa temperatura (-120 graus), unidade de refrigeração de arrefecimento direto (-150 graus), etc. A empresa aplica vários algoritmos (PID, PID feedforward e algoritmo de árvore auto-construído sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida e uma elevada precisão de controlo.

As informações importantes, como a temperatura (pressão) de exaustão e de aspiração, a temperatura de condensação, a temperatura (pressão) da água de arrefecimento, a temperatura (pressão) do líquido (gás) de entrada e de saída, a potência eléctrica, a corrente e a tensão de cada componente e o nível do reservatório de água do chiller são geridas, monitorizadas e registadas de forma abrangente através de sensores ligados ao sistema de controlo.

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta o aquecimento a gás quente do compressor.

O sistema de circulação do refrigerador adopta um design totalmente fechado, e a bomba de circulação adopta uma bomba de acionamento magnético.

Teste de hélio do chiller 100%, teste dos regulamentos de segurança 100% para garantir a segurança e fiabilidade do sistema.

O refrigerador faz funcionar a máquina de fotocópias continuamente durante 24 horas a 100%.

refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Aplicações

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