FLT -25℃~-40℃

Utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura na produção de semicondutores e nos processos de ensaio, com um aquecimento até 40 ° C utilizando um método de aquecimento por gás quente de compressor

Refrigeradores de teste de semicondutores

Precisão da temperatura±0.1℃
Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
RefrigeranteR404A
Gama de potência380V 3kW~17kW

refrigerador de refrigeração refrigerador de semicondutores

INQUÉRITO

Descarregamento de dados do produto

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Controlo da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta um design totalmente fechado de aquecimento a gás quente do compressor, e a máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end

Detalhes de configuração

Modelo	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Gama de temperaturas	-25℃～40℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.1℃
Controlo do fluxo	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Controlo do fluxo	O controlo do fluxo é ajustado por um conversor de frequência e a pressão máxima da bomba de circulação é de 5 bar.
Refrigeração @-15℃	2kw	3kw	3,8kw	6kw	7,6kw	10kw	15kw
Circulação interna Volume de fluido	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume do depósito de expansão	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
refrigerante	R404A
Refrigerante secundário	Água, óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, etc.
Interface de entrada e saída	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Ligação da água de arrefecimento	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
Caudal de água de arrefecimento@20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Potência 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Expansão da temperatura	Ao adicionar um aquecedor elétrico, ele pode ser estendido para -25 ℃ ~ 80 ℃

Descrição do produto

O dispositivo de controlo da temperatura dos semicondutores Chiller é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores. Os seus produtos incluem o controlo da temperatura do líquido fluorado (mínimo de -100 graus), mudança rápida de temperatura do gás de arrefecimento e aquecimento, mudança rápida de temperatura do mandril, máquina de refrigeração a gás de baixa temperatura (-120 graus), unidade de refrigeração de arrefecimento direto (-150 graus), etc. A empresa aplica vários algoritmos (PID, PID feedforward e algoritmo de árvore auto-construído sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida e uma elevada precisão de controlo.

As informações importantes, como a temperatura (pressão) de exaustão e de aspiração, a temperatura de condensação, a temperatura (pressão) da água de arrefecimento, a temperatura (pressão) do líquido (gás) de entrada e de saída, a potência eléctrica, a corrente e a tensão de cada componente e o nível do reservatório de água do chiller são geridas, monitorizadas e registadas de forma abrangente através de sensores ligados ao sistema de controlo.

refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Aplicações

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