Para melhorar a taxa de rendimento dos produtos e garantir a rentabilidade, é necessário efetuar um controlo de qualidade em todas as fases da indústria de semicondutores. Um fator importante que afecta a qualidade dos produtos é a temperatura, e a estabilidade e precisão da temperatura são muito importantes para garantir produtos estáveis e fiáveis. Assegurar um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end.
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Pode ser utilizado em processos: oxidação, revestimento com cola, fotolitografia, revelação, gravação, implantação de iões, remoção de cola, deposição de película, CMP, limpeza.
LNEYA Refrigerador arrefecido a ar ou refrigerado a água
