LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante Fornecedor
Refrigerador de semicondutores
FLTZ -45℃~90℃- Precisão da temperatura±0.1℃
- Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
- RefrigeranteR404A
- Gama de potência380V 3.5kW~16kW
Descarregamento de dados do produto
Controlo da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores
Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours
Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end
Descrição do produto
O dispositivo de controlo da temperatura dos semicondutores Chiller é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores. Os seus produtos incluem o controlo da temperatura do líquido fluorado (mínimo de -100 graus), mudança rápida de temperatura do gás de arrefecimento e aquecimento, mudança rápida de temperatura do mandril, máquina de refrigeração a gás de baixa temperatura (-120 graus), unidade de refrigeração de arrefecimento direto (-150 graus), etc. A empresa aplica vários algoritmos (PID, PID feedforward e algoritmo de árvore auto-construído sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida e uma elevada precisão de controlo.
As informações importantes, como a temperatura (pressão) de exaustão e de aspiração, a temperatura de condensação, a temperatura (pressão) da água de arrefecimento, a temperatura (pressão) do líquido (gás) de entrada e de saída, a potência eléctrica, a corrente e a tensão de cada componente e o nível do reservatório de água do chiller são geridas, monitorizadas e registadas de forma abrangente através de sensores ligados ao sistema de controlo.
Heating method within 40 ℃ adopts compressor hot gas heating.
O sistema de circulação do refrigerador adopta um design totalmente fechado, e a bomba de circulação adopta uma bomba de acionamento magnético.
Teste de hélio do chiller 100%, teste dos regulamentos de segurança 100% para garantir a segurança e fiabilidade do sistema.
O refrigerador faz funcionar a máquina de fotocópias continuamente durante 24 horas a 100%.
refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Detalhes de configuração
|
Modelo |
FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
|
Controlo da temperatura |
5℃～90℃ |
||||||
|
Precisão da temperatura |
±0.05℃ |
||||||
|
Controlo do fluxo |
10～25L/min 5bar max |
15～45L/min 6bar max |
25～75L/min 6bar max |
||||
|
Refrigeration capacity@10℃ |
6kw |
8kw |
10kw |
15 kw |
20kw |
25kw |
40kw |
|
Volume de líquido em circulação interna |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Capacidade do depósito de expansão |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
refrigerante |
R410A |
||||||
|
Refrigerante secundário |
Óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, DI, etc. (a temperatura DI tem de ser controlada acima de 10 ℃) |
||||||
|
Interfaces de entrada e saída |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
|
Saída da água de arrefecimento |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Cooling water flow rate@20℃ |
1.5m³/h |
2m³/h |
2.5m³/h |
4m³/h |
4.5m³/h |
5.6m³/h |
9m³/h |
|
fonte de alimentação 380V |
3,5 kW |
4kW |
5,5 kW |
7kW |
9,5 kW |
12kW |
16kW |
|
Extensão da temperatura |
By adding an electric heater, expand the temperature range from -25 ℃ to 80 ℃ |
||||||
|
Modelo |
FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
|
Gama de temperaturas |
-25℃～90℃ |
||||||
|
Precisão do controlo da temperatura |
±0.05℃ |
||||||
|
Controlo do fluxo |
10～25L/min ±0.3 |
15～45L/min ±0.3 |
25～75L/min ±0.3 |
||||
|
O controlo do fluxo é ajustado por um conversor de frequência e a pressão máxima da bomba de circulação é de 5 bar. |
|||||||
|
Refrigeração @-15℃ |
2kw |
3kw |
3,8kw |
6kw |
7,6kw |
10kw |
15kw |
|
Circulação interna Volume de fluido |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Volume do depósito de expansão |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
refrigerante |
R404A |
||||||
|
Refrigerante secundário |
Água, óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, etc. |
||||||
|
Interface de entrada e saída |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
|
Ligação da água de arrefecimento |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Cooling water flow@20℃ |
1.2m³/H |
1.6m³/H |
2.6m³/H |
3.6m³/H |
5.5m³/H |
7m³/H |
10.2m³/H |
|
Potência 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
8KW |
9KW |
13KW |
17KW |
|
Expansão da temperatura |
By adding an electric heater, it can be extended to -25℃~80℃ |
||||||
|
Modelo |
FLTZ-402FLTZ-402W | FLTZ-403FLTZ-403W | FLTZ-404FLTZ-404W | FLTZ-406FLTZ-406W | FLTZ-408FLTZ-408W | FLTZ-410FLTZ-410W | FLTZ-415FLTZ-415W |
|
Controlo da temperatura |
-45℃～90℃ | ||||||
|
Precisão do controle de temperatura |
±0.05℃ |
||||||
|
Controlo do fluxo |
10～25L/min 5bar max |
15～45L/min 6bar max |
25～75L/min 6bar max |
||||
|
Aquecimento |
O aquecimento do compressor é utilizado para evitar a tecnologia de congelação do condensador |
||||||
|
Capacidade de refrigeração @-35℃ |
1kw |
1,4kw |
1,8kw |
2,5kw |
3,3kw |
5kw |
8kw |
|
Volume do fluido da circulação interna |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Volume do depósito de expansão |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
refrigerante |
R404A |
||||||
|
Refrigerante secundário |
Água, óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, etc. |
||||||
|
Interface de entrada e saída |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG3/4 |
|
Ligação da água de arrefecimento |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Fluxo de água de resfriamento @20℃ |
1.5m³/H |
2.4m³/H |
3.5m³/H |
5m³/H |
5.5m³/H |
6m³/H |
8m³/H |
|
Potência 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
7,5KW |
9KW |
12KW |
15KW |
|
Expansão da temperatura |
By adding an electric heater, it can be extended to -25℃~80℃ |
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Função de comunicação
O equipamento de série inclui
Comunicação (RS232C, RS485) e entrada/saída de contacto. Pode comunicar com dispositivos do cliente ou construir sistemas.
sinal de saída do cliente
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