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Conventional Type FLT -45℃~80℃

Semiconductor Production & Testing Process Chiller

Conventional type FLT -45℃~80℃
  • Precisão da temperatura±0.1℃
  • Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
  • RefrigeranteR404A
  • Gama de potência380V 3.5kW~16kW

Descarregamento de dados do produto

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta um design totalmente fechado de aquecimento a gás quente do compressor, e a máquina funciona continuamente durante 24 horas

Detalhes de configuração

Modelo

FLT-002

FLT-002W

FLT-003

FLT-003W

FLT-004

FLT-004W

FLT-006

FLT-006W

FLT-008

FLT-008W

FLT-010

FLT-010W

FLT-015

FLT-015W

Controlo da temperatura

 5℃~40℃

Precisão da temperatura

±0.05℃  

Controlo do fluxo  

10~25L/min 5bar max

15~45L/min 6bar max

25~75L/min 6bar max

Capacidade de refrigeração@10℃

 6kw

 8kw

 10kw

15 kw

 20kw

 25kw

 40kw

Volume de líquido em circulação interna

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Capacidade do depósito de expansão

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

Refrigerante

R410A

Refrigerante secundário

Óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, DI, etc. (a temperatura DI tem de ser controlada acima de 10 ℃)

Interfaces de entrada e saída

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

Saída da água de arrefecimento

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Caudal de água de arrefecimento@20℃

1,5m³/h

2m³/h

2,5m³/h

4m³/h

4,5m³/h

5,6m³/h

9m³/h

fonte de alimentação 380V

3,5 kW

4kW

5,5 kW

7kW

9,5 kW

12kW

16kW

Extensão da temperatura

Ao adicionar um aquecedor elétrico, expande a gama de temperaturas de -25 ℃ a 80 ℃

Modelo

FLT-202

FLT-202W

FLT-203

FLT-203W

FLT-204

FLT-204W

FLT-206

FLT-206W

FLT-208

FLT-208W

FLT-210

FLT-210W

FLT-215

FLT-215W

Gama de temperaturas

-25℃~40℃

Precisão do controlo da temperatura

±0.05℃  

Controlo do fluxo  

10~25L/min ±0,3

15~45L/min ±0,3

25~75L/min ±0,3

O controlo do fluxo é ajustado por um conversor de frequência e a pressão máxima da bomba de circulação é de 5 bar.

Refrigeração

@-15℃

2kw

3kw

3,8kw

6kw

7,6kw

10kw

15kw

Circulação interna Volume de fluido

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Volume do depósito de expansão

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

refrigerante

R404A

Refrigerante secundário

Água, óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, etc.

Interface de entrada e saída

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

Ligação da água de arrefecimento

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Caudal de água de arrefecimento@20℃

1,2 m³/H

1,6 m³/H

2,6 m³/H

3,6 m³/H

5,5 m³/H

7m³/H

10,2 m³/H

Potência 380V

3KW

4KW

6KW

8KW

9KW

13KW

17KW

Expansão da temperatura

Ao adicionar um aquecedor elétrico, ele pode ser estendido para -25 ℃ ~ 80 ℃

Modelo

FLT-402

FLT-402W

FLT-403

FLT-403W

FLT-404

FLT-404W

FLT-406

FLT-406W

FLT-408

FLT-408W

FLT-410

FLT-410W

FLT-415

FLT-415W

Controlo da temperatura

 -45℃~40℃

Precisão do controlo da temperatura

±0.05℃  

Controlo do fluxo  

10~25L/min 5bar max

15~45L/min 6bar max

25~75L/min 6bar max

Aquecimento

O aquecimento do compressor é utilizado para evitar a tecnologia de congelação do condensador

Capacidade de refrigeração

@-35℃

1kw

1,4kw

1,8kw

2,5kw

3,3kw

5kw

8kw

Volume do fluido da circulação interna

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Volume do depósito de expansão

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

Refrigerante

R404A

Refrigerante secundário

Água, óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de etilenoglicol, etc.

Interface de entrada e saída

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG3/4

Ligação da água de arrefecimento

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Fluxo de água de arrefecimento @20℃

1,5 m³/H

2,4 m³/H

3,5 m³/H

5m³/H

5,5 m³/H

6m³/H

8m³/H

Potência 380V

3KW

4KW

6KW

7,5KW

9KW

12KW

15KW

Expansão da temperatura

Ao adicionar um aquecedor elétrico, ele pode ser estendido para -25 ℃ ~ 80 ℃

Descrição do produto

O dispositivo de controlo da temperatura dos semicondutores Chiller é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores. Os seus produtos incluem o controlo da temperatura do líquido fluorado (mínimo de -100 graus), mudança rápida de temperatura do gás de arrefecimento e aquecimento, mudança rápida de temperatura do mandril, máquina de refrigeração a gás de baixa temperatura (-120 graus), unidade de refrigeração de arrefecimento direto (-150 graus), etc. A empresa aplica vários algoritmos (PID, PID feedforward e algoritmo de árvore auto-construído sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida e uma elevada precisão de controlo.

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