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Refrigerador de arrefecimento

Para melhorar a taxa de rendimento dos produtos e garantir a rentabilidade, é necessário efetuar um controlo de qualidade em todas as fases da indústria de semicondutores. Um fator importante que afecta a qualidade dos produtos é a temperatura, e a estabilidade e precisão da temperatura são muito importantes para garantir produtos estáveis e fiáveis. Assegurar um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end.

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Pode ser utilizado em processos: oxidação, revestimento com cola, fotolitografia, revelação, gravação, implantação de iões, remoção de cola, deposição de película, CMP, limpeza.

Top dielectric etching dual channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Side wall etching single channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Polycrystalline silicon etching single channel chiller
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Photoresist etching back dual channel chiller
Polycrystalline silicon etching dual channel chiller
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