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Compacto, de alta precisão, ecológico
Intervalo de temperatura -100℃~90℃ Precisão de temperatura ±0,05℃
LNEYA representa a tecnologia de controlo de temperatura de líquidos avançada internacionalmente, explora e estuda ativamente a simulação de testes de temperatura do sistema de teste de componentes, tem uma ampla direção de temperatura e alta subida e descida de temperatura, intervalo de temperatura: -100°C~+90°C, precisão de controlo de temperatura até: ±0,05℃.
high-precision Process chillers Video
Integrates refrigeration heating and temperature control functions. It is mainly used for temperature control in semiconductor FAB processes and packaging and testing processes.
Saving more than 20% energy compared to the old products; it adopts a fully enclosed pipeline design to reduce the demand for heat transfer medium, and at the same time, the heat discharged by the compressor is used for heating within 40℃, so the circulation heating can be achieved without a heater.
Cooling capacity 6kW~40kW
Cooling water flow 1.5m³/h~9m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 2kW~15kW
Cooling water flow 1.2m³/h~10.2m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 1kW~8kW
Cooling water flow 1.5m³/h~8m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 0.6kW~3kW
Cooling water flow 1.8m³/h~6m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 1.5kW~3kW
Cooling water flow 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Temp accuracy ±0.05℃
Semiconductor Chiller Applications
O fabrico de semicondutores é um processo com requisitos ambientais extremamente elevados, e o controlo rigoroso da temperatura determina o desempenho do produto. Os refrigeradores de semicondutores são normalmente utilizados em processos de teste e embalagem da indústria de semicondutores, controlo de temperatura de processos FAB de semicondutores, arrefecimento de sensores CMOS/CCD em sistemas de metrologia de semicondutores, arrefecimento circulante de sistemas AOI de metrologia de semicondutores, proporcionando controlo de temperatura independente para paredes laterais de cavidades, gravação e deposição de chanfro de plasma, gravação de camada atómica térmica de tungsténio metálico, etc.
O sistema de secagem térmica correspondente fornece a temperatura de arrefecimento e aquecimento, melhora a eficiência do teste e a qualidade dos chips de wafer e tem um pequeno erro de precisão de temperatura.
O refrigerador térmico é compatível com a máquina de teste, com uma precisão de controlo da temperatura de ±0,05℃, o que melhora a eficiência dos testes de chips do instituto.
O refrigerador de processo é utilizado em fábricas de semicondutores, com controlo de temperatura de arrefecimento e aquecimento de alta precisão, o que melhora a taxa de fabrico de wafers e reduz a taxa de refugo.
Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.
O equipamento de série inclui comunicação série (RS232C, RS485) e entrada/saída de contacto. Pode comunicar com dispositivos do cliente ou criar sistemas.
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Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.
Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
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