YQH 0℃~-75℃

Captação e recuperação de condensação de gases residuais；Purificação de gases de escape de semicondutores

Refrigeradores de teste de semicondutores

Pressão na zona fria8 Barras
Água de arrefecimento @25℃1300L/H~3000L/H 1BAR~4BAR
Potência3kW~8kW

recuperação de gás Lavador local COVs

INQUÉRITO

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Captura e recuperação de condensação de gás VOCS

Adequado para a recuperação de vários gases VOCs voláteis; arrefecimento rápido, alta eficiência, satisfazendo diferentes requisitos de temperatura de condensação, a baixa temperatura pode atingir -75 ° C

Qual é a origem dos gases nocivos?

Provém principalmente dos processos de limpeza, nivelamento da cola, remoção da cola, gravação e desenvolvimento da produção de pastilhas ou placas de circuitos.

elevado volume de escape e baixa concentração de emissões

O processo principal de fabrico de circuitos integrados produz uma grande quantidade de gases residuais ácido-base, arsano, fosfina, orgânicos e outros gases de processo. É necessário um purificador local para a captura e recuperação da condensação dos gases residuais.

Os gases residuais orgânicos provêm principalmente dos processos de limpeza, CVD, fotolitografia, gravura húmida, degomagem e difusão. Os tipos de gases residuais orgânicos incluem principalmente álcool isopropílico, acetona, acetato de éter monometílico de propilenoglicol, lactato de etilo, acetato de butilo, aromáticos pesados, etc.

parâmetro

Modelo	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
Caudal de gás	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
Temperatura mais baixa	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
Temperatura do primeiro nível	0℃	0℃	0℃	0℃
Pressão da caixa frigorífica	8bar	8bar	8bar	8bar
Área de permuta de calor	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
Material do permutador de calor	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Controlo da pressão	Controlo e proteção da pressão de bloqueio anti-gelo à entrada e à saída dos colectores de evaporação primários e secundários
Controlo de descongelação	O controlo do degelo pode ser efectuado com base na monitorização da pressão
Diâmetro da entrada de ar	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
Depósito de armazenamento de líquido de recuperação	10L Instalação opcional da bomba de transferência de recuperação		15L Instalação opcional da bomba de transferência de recuperação
Diâmetro do orifício de drenagem	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
Sistema de controlo	PLC da Siemens
Visualização e registo	Ecrã tátil a cores de 7 polegadas
Compressor	Compressor flexível Emerson Copeland Scroll (à prova de explosão é encapsulado em resina epóxi)
Fonte de alimentação 380V 50HZ MAX	3,5KW	5KW	4KW	6KW
Tamanho	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
Água de arrefecimento (arrefecimento a água)20℃	1800L/H 1BAR~4BAR G3/4		3000L/H 1BAR~4BAR G3/4

princípio de funcionamento

Introduzir o gás VOCS volátil na caixa fria do equipamento (o dispositivo está definido para uma temperatura de condensação de 3°C-40°C-75°C-115°C). Outras zonas de temperatura podem ser personalizadas para seguir as necessidades de condensação e liquefação passo a passo. Alguns processos de produção contínua têm um processo de comutação de canal duplo na secção de baixa temperatura (depois de um lado estar bloqueado por gelo, é diretamente comutado para o outro canal para troca de calor e condensação na caixa fria e, ao mesmo tempo, o bloqueio de gelo é testado para tratamento de descongelação).

Personalizado 25 BAR

Resistência à pressão do sistema de permuta de calor

-40~-75℃

Conheça as diferentes temperaturas

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
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