É amplamente utilizado no processo de fabrico de semicondutores para controlar a temperatura da câmara de reação, a temperatura do dissipador de calor e o controlo da temperatura do fluido não inflamável do meio de transferência de calor.

1. O teste de pressão de retenção do sistema de circulação do fluido é de 7 bar.
2. Utilizar uma bomba magnética de alta qualidade sem vedação mecânica do veio.
Otimizar a amostragem da temperatura e a velocidade de resposta, algoritmo de controlo especialmente concebido, pode responder rapidamente a um controlo estável da temperatura.
4. Melhorar a conceção da capacidade da bomba de circulação para satisfazer os requisitos de alta elevação do sistema.
5. A tecnologia de arrefecimento contínuo a alta temperatura satisfaz os requisitos para um funcionamento estável quando o calor é carregado na placa do dissipador de calor e requer um controlo constante da temperatura de arrefecimento e aquecimento.
6. Tendo em conta as caraterísticas voláteis do líquido fluorado, a conceção das juntas e a conceção da vedação do sistema são reforçadas para garantir a vida útil do fluido.