LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante Fornecedor
Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )
ETCU 5℃~90℃Temp Range: +5℃~90℃ ±0.3℃
Capacidade de refrigeração: 5kw~30kw
Tank volume: 6L~15L
Power: 06KW~1.6KW
Controlo da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores
Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours
Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end
Detalhes de configuração
| Modelo | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Faixa de temperatura | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Precisão do controle de temperatura | ±0.05℃ (outlet temperature steady state) | ||||||
| Temperatura da água de resfriamento | 7℃~30℃ Use Siemens/Honeywell regulating valve to control cooling water flow | ||||||
| Capacidade de resfriamento | 5kw | 15kw | 30kw | 50kw | 100kw | 200kw | 300kw |
| Circulating pump flow | Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C | ||||||
| Storage tank volume | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Dimensões | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Dimensões | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Personalização | Personalização | Personalização | Personalização |
Descrição do produto
O dispositivo de controlo da temperatura dos semicondutores Chiller é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores. Os seus produtos incluem o controlo da temperatura do líquido fluorado (mínimo de -100 graus), mudança rápida de temperatura do gás de arrefecimento e aquecimento, mudança rápida de temperatura do mandril, máquina de refrigeração a gás de baixa temperatura (-120 graus), unidade de refrigeração de arrefecimento direto (-150 graus), etc. A empresa aplica vários algoritmos (PID, PID feedforward e algoritmo de árvore auto-construído sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida e uma elevada precisão de controlo.
As informações importantes, como a temperatura (pressão) de exaustão e de aspiração, a temperatura de condensação, a temperatura (pressão) da água de arrefecimento, a temperatura (pressão) do líquido (gás) de entrada e de saída, a potência eléctrica, a corrente e a tensão de cada componente e o nível do reservatório de água do chiller são geridas, monitorizadas e registadas de forma abrangente através de sensores ligados ao sistema de controlo.
A principal aplicação é controlar com precisão a temperatura no processo de produção de semicondutores e no processo de ensaio.
The heating method is within 40°C and uses compressor hot gas to heat the concentrate.
O sistema de circulação adopta um design totalmente selado, e a bomba de circulação adopta uma bomba de acionamento magnético.
Testes de amoníaco e testes de segurança para garantir a segurança, fiabilidade e prosperidade do sistema;
Após 24 horas de funcionamento contínuo da fotocopiadora
Cenários de aplicação do controlo da temperatura no processo de semicondutores
refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Aplicações
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