Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )

ETCU 5℃~90℃

High-precision Cold Heat Chiller

refrigerador de refrigeração refrigerador de semicondutores

Temp Range: +5℃~90℃ ±0.3℃

Cooling Capacity: 5kw~30kw

Tank volume: 6L~15L

Power: 06KW~1.6KW

INQUÉRITO

Controlo da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta um design totalmente fechado de aquecimento a gás quente do compressor, e a máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end

Detalhes de configuração

Modelo	ETCU-005W	ETCU-015W	ETCU-030W	ETCU-050W	ETCU-100W	ETCU-200W	ETCU-300W
Gama de temperaturas	Cooling water temperature +5℃~90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.05℃ (outlet temperature steady state)
Temperatura da água de arrefecimento	7℃~30℃ Utilizar a válvula reguladora Siemens/Honeywell para controlar o fluxo de água de arrefecimento
Capacidade de arrefecimento	5kw	15kw	30kw	50kw	100kw	200kw	300kw
Circulating pump flow	Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C
Storage tank volume	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar	40~110L/min 5bar	150~250L/min 5bar	250~500L/min 5bar	400~650L/min 5bar
Dimensions	5L	10L	20L	30L	60L	120L	240L
Dimensions	480750390	480750390	480750500	Customization	Customization	Customization	Customization

Descrição do produto

O dispositivo de controlo da temperatura dos semicondutores Chiller é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores. Os seus produtos incluem o controlo da temperatura do líquido fluorado (mínimo de -100 graus), mudança rápida de temperatura do gás de arrefecimento e aquecimento, mudança rápida de temperatura do mandril, máquina de refrigeração a gás de baixa temperatura (-120 graus), unidade de refrigeração de arrefecimento direto (-150 graus), etc. A empresa aplica vários algoritmos (PID, PID feedforward e algoritmo de árvore auto-construído sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida e uma elevada precisão de controlo.

As informações importantes, como a temperatura (pressão) de exaustão e de aspiração, a temperatura de condensação, a temperatura (pressão) da água de arrefecimento, a temperatura (pressão) do líquido (gás) de entrada e de saída, a potência eléctrica, a corrente e a tensão de cada componente e o nível do reservatório de água do chiller são geridas, monitorizadas e registadas de forma abrangente através de sensores ligados ao sistema de controlo.

A principal aplicação é controlar com precisão a temperatura no processo de produção de semicondutores e no processo de ensaio.

O método de aquecimento situa-se a 40°C e utiliza gás quente do compressor para aquecer o concentrado.

O sistema de circulação adopta um design totalmente selado, e a bomba de circulação adopta uma bomba de acionamento magnético.

Testes de amoníaco e testes de segurança para garantir a segurança, fiabilidade e prosperidade do sistema;

Após 24 horas de funcionamento contínuo da fotocopiadora

Cenários de aplicação do controlo da temperatura no processo de semicondutores

refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Aplicações

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