Semicnductor Multi-channel Chiller

FLTZ -45℃~100℃

Precisão da temperatura±0.1℃
RefrigeranteR404A
Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
Gama de potência380V 3kW~17kW

refrigerador de refrigeração refrigerador de semicondutores

Temperature control in semiconductor production testing processes

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta um design totalmente fechado de aquecimento a gás quente do compressor, e a máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end

Utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura na produção de semicondutores e nos processos de ensaio, com um aquecimento até 40 ° C utilizando um método de aquecimento por gás quente de compressor

Detalhes de configuração

FLTZ -20℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLTZ-203W-2T
Pipeline	Channel 1	Channel 2
Gama de temperaturas	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.1℃	±0.1℃
Capacidade de arrefecimento	4kW@-10℃	4kW@-10℃
Capacidade de aquecimento	2kW	2kW
Heat transfer medium flow	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4
Ambient temperature	10～35℃	10～35℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%
Temperatura da água de arrefecimento	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	20L/min	20L/min
Circuit breaker	30A
Process temperature control	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso	400 kg
Dimensions	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Pipeline	Channel 1	Channel 2	Channel 3
Gama de temperaturas	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Capacidade de arrefecimento	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
Capacidade de aquecimento	2kW	6kW	Pump Heat Loss
Heat transfer medium flow	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Ambient temperature	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%	30～70%
Temperatura da água de arrefecimento	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Circuit breaker	75A
Process temperature control	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso	600kg
Dimensions	60010001700

Modelo	FLTZ-203W/2T Dual system		FLTZ-305W/2T Dual system		FLTZ-406W/2T Dual system
Gama de temperaturas	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.1℃
Flow control and pressure	15~45l/min 6bar max
Aquecimento	2,5kw	2,5kw	2,5kw	2,5kw	3.5kw	3.5kw
Capacidade de arrefecimento	3KW at-15℃	3KW at-15℃	5KW at-15℃	5KW at-15℃	2.5KW at -35℃	2.5KW at -35℃
Volume de líquido em circulação interna	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volume do depósito de expansão	15L		25L		25L
Heat transfer medium	Fluorination, antifreeze, thermal silicone oil, etc.
Refrigerante	R404A/ R448
Heat transfer medium interface	ZG3/4
Interface da água de arrefecimento	ZG3/4
Água de arrefecimento	50L/min at20℃		600L/min at20℃		50L/min at20℃
Alimentação eléctrica	Three-phase220V / Three-phase 400V /Three-phase 460V
Process temperature control	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm

FLTZ -45℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLTZ-203W/2T dual system		FLTZ-305W/2T dual system		FLTZ-406W/2T dual system
Gama de temperaturas	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.1℃
Heat conducting medium flow rate	15~45l/min 6bar max
Capacidade de aquecimento	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3,5 kW	3,5 kW
Capacidade de arrefecimento	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
Volume do fluido da circulação interna	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volume do depósito de expansão	15L		25L		25L
Heat-conducting medium	Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc
Refrigerante	R404A/ R448
Heat-conducting medium interface	ZG3/4
Interface da água de arrefecimento	ZG3/4
Interface da água de arrefecimento	50L/min at20℃		600L/min at20℃		50L/min at20℃
Potência	Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V
Process temperature control	The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm

Descrições

Multi-channel independent temperature control can have separate temperature ranges, cooling and heating capabilities, heat transfer medium flow, etc. Two independent systems are used. Steam compression refrigeration or ETCU compressor-free heat exchange system can be selected according to the required temperature range. The system can use expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and reduce operating steps.

refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Aplicações

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