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Sobre a LNEYA seleção de produtos, vantagens e informações sobre a indústria dos refrigeradores.

Multi-channel FLTZ multi-channel

Semicnductor Multi-channel Chiller

FLTZ -45℃~100℃
High-precision Cold Heat Chiller
  • Precisão da temperatura±0.1℃
  • RefrigeranteR404A
  • Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
  • Gama de potência380V 3kW~17kW
refrigerador de refrigeraçãorefrigerador de semicondutores
INQUÉRITO

Temperature control in semiconductor production testing processes

Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours

Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end

Mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing processes, heating within 40 ° C using a compressor hot gas heating method

Detalhes de configuração

FLTZ -20℃~90℃ Dual Channel

Modelo FLTZ-203W-2T
Condutas Canal 1 Canal 2
Faixa de temperatura  -20℃～+90℃  -20℃~～90℃
Precisão do controle de temperatura ±0.1℃ ±0.1℃
Capacidade de resfriamento 4kW@-10℃ 4kW@-10℃
Capacidade de aquecimento 2kW 2kW
Heat transfer medium flow 20L/min@0.5MPa 20L/min@0.5MPa
Heat transfer medium interface ZG3/4 ZG3/4
Temperatura ambiente 10～35℃ 10～35℃
Humidade ambiente 30～70% 30～70%
Temperatura da água de resfriamento 15～20℃ 15～20℃
Cooling water flow 20L/min 20L/min
Disjuntor 30A
Controlo da temperatura do processo Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso 400 kg
Dimensões 500*900*1600
FLTZ -10℃~90℃ Dual Channel

Modelo FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Condutas Canal 1 Canal 2 Canal 3
Faixa de temperatura  -20℃～+50℃  +30℃～+100℃  +30℃～+40℃
Precisão do controle de temperatura ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
Capacidade de resfriamento 15kW@-10℃ 13kW@PCW+15℃ 8kW@PCW+10℃
Capacidade de aquecimento 2kW 6kW Perda de calor da bomba
Heat transfer medium flow 30L/min@0.85MPa 30L/min@0.85MPa 20L/min@0.8MPa
Heat transfer medium interface ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4
Temperatura ambiente 10～35 ℃ 10～35 ℃ 10～35 ℃
Humidade ambiente 30～70% 30～70% 30～70%
Temperatura da água de resfriamento 15～20℃ 15～20℃ 15～20℃
Cooling water flow 30L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃
Disjuntor 75A
Controlo da temperatura do processo Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso 600 kg
Dimensões 600*1000*1700

Modelo FLTZ-203W/2T Dual system FLTZ-305W/2T Dual system FLTZ-406W/2T Dual system
Faixa de temperatura -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
Precisão do controle de temperatura ±0.1℃
Flow control and pressure 15~45l/min 6bar max
Aquecimento 2,5kw 2,5kw 2,5kw 2,5kw 3.5kw 3.5kw
Capacidade de resfriamento 3KW at-15℃ 3KW at-15℃ 5KW at-15℃ 5KW at-15℃ 2.5KW at -35℃ 2.5KW at -35℃
Volume de líquido em circulação interna 5L 5L 8L 8L 8L 8L
Volume do depósito de expansão 15L 25L 25L
Heat transfer medium Fluorination, antifreeze, thermal silicone oil, etc.
refrigerante R404A/ R448
Heat transfer medium interface ZG3/4
Interface da água de arrefecimento ZG3/4
Água de arrefecimento 50L/min at20℃ 600L/min at20℃ 50L/min at20℃
Alimentação eléctrica Three-phase220V  /  Three-phase 400V  /Three-phase 460V
Controlo da temperatura do processo Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
FLTZ -45℃~90℃ Dual Channel

Modelo Sistema duplo FLTZ-203W/2T FLTZ-305W/2T sistema duplo Sistema duplo FLTZ-406W/2T
Faixa de temperatura -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
Precisão do controle de temperatura ±0.1℃
Caudal do meio condutor de calor 15~45l/min 6bar max
Capacidade de aquecimento 2.5kW 2.5kW 2.5kW 2.5kW 3,5 kW 3,5 kW
Capacidade de resfriamento 3kW at-15℃ 3kW at-15℃ 5kW at-15℃ 5kW at-15℃ 2.5kW at -35℃ 2.5kW at -35℃
Volume do fluido da circulação interna 5L 5L 8L 8L 8L 8L
Volume do depósito de expansão 15L 25L 25L
Meio condutor de calor Líquido fluorado, anticongelante, óleo de silicone condutor térmico, etc.
refrigerante R404A/ R448
Interface do meio condutor de calor ZG3/4
Interface da água de arrefecimento ZG3/4
Interface da água de arrefecimento 50L/min at20℃ 600L/min at20℃ 50L/min at20℃
Potência Trifásico 220V/Trifásico 400V/Trifásico 460V
Controlo da temperatura do processo A temperatura alvo remota pode ser controlada combinando o algoritmo de árvore auto-criado sem modelo
e o algoritmo em cascata

Descrições

Multi-channel independent temperature control can have separate temperature ranges, cooling and heating capabilities, heat transfer medium flow, etc. Two independent systems are used. Steam compression refrigeration or ETCU compressor-free heat exchange system can be selected according to the required temperature range. The system can use expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and reduce operating steps.

refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Aplicações

<trp-post-container data-trp-post-id='6951'>FLTZ Multi-channel Series</trp-post-container> - semiconductor chiller（images 2）

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