LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante - fornecedor - LNEYA
FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers
APLICAÇÕES
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Parâmetros do produto
FLTZ -20℃～+90℃
| Modelo | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Gama de temperaturas | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Capacidade de arrefecimento | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 2kW |
| Heat conducting medium flow rate | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de arrefecimento | 20L/min | 20L/min |
| Circuit breaker | 30A | |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensão cm | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| Modelo | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Gama de temperaturas | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Capacidade de arrefecimento | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 6kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de arrefecimento | 40L/min | 20L/min |
| Circuit breaker | 80A | |
| Peso | 550kg | |
| Dimensão cm | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| Modelo | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Gama de temperaturas | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Capacidade de arrefecimento | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de arrefecimento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Circuit breaker | 100A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensão cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| Modelo | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Gama de temperaturas | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Capacidade de arrefecimento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| Heat conducting medium flow rate | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de arrefecimento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Circuit breaker | 75A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensão cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| Modelo | FLTZ-203W/2T dual system | FLTZ-305W/2T dual system | FLTZ-406W/2T dual system | |||
| Gama de temperaturas | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Heat conducting medium flow rate | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacidade de aquecimento | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacidade de arrefecimento | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| Volume do fluido da circulação interna | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volume do depósito de expansão | 15L | 25L | 25L | |||
| Heat-conducting medium | Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc | |||||
| Refrigerante | R404A/ R448 | |||||
| Heat-conducting medium interface | ZG3/4 | |||||
| Interface da água de arrefecimento | ZG3/4 | |||||
| Interface da água de arrefecimento | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Potência | Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V | |||||
Product Advantages
- Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
- Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
- Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
- Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
- Adotando a bomba de acionamento magnético, não há problema de vazamento de vedação do eixo;
- Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.
A bomba de frequência variável pode ajustar a pressão hidráulica de circulação e o caudal
client output signal
Communication function
APLICAÇÕES
Unidade de controlo da temperatura do processo FAB de semicondutores
O fabrico de semicondutores é um processo com requisitos ambientais extremamente elevados, e muitas etapas do processo são muito sensíveis à temperatura.
O controlo preciso da temperatura pode garantir uma espessura uniforme e uma composição exacta das películas depositadas, melhorando assim o desempenho e o rendimento das pastilhas.
for Semiconductor packaging & testing process
O processo de embalagem e ensaio de semicondutores é um elo fundamental no processo de produção de semicondutores, incluindo o ensaio de bolachas, a embalagem de pastilhas e o ensaio pós-embalagem. Este processo exige não só um elevado grau de precisão e fiabilidade, mas também um controlo rigoroso da temperatura para garantir a qualidade e o desempenho do produto.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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