LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante Fornecedor
Chillers multicanais da série de frequência variável FLTZ
APLICAÇÕES
O refrigerador de ar e de água para semicondutores é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura na produção e teste de semicondutores. Os produtos incluem controlo da temperatura do líquido fluorado (mínimo de -100 graus), mudança rápida de temperatura do gás quente e frio, mudança rápida de temperatura do mandril, refrigerador de gás de baixa temperatura (-120 graus), unidade de refrigeração de arrefecimento direto (-150 graus), etc. A empresa aplica uma variedade de algoritmos (PID, PID feedforward, algoritmo de auto-construção sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida do sistema e uma elevada precisão de controlo.
Caraterísticas do produto
Parâmetros do produto
FLTZ -20℃～+90℃
| Modelo | FLTZ-203W-2T | |
| Condutas | canal 1 | canal 2 |
| Faixa de temperatura | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Capacidade de resfriamento | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 2kW |
| Caudal do meio condutor de calor | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Humidade ambiente | 30～70% | 30～70% |
| Caudal de água de arrefecimento | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de resfriamento | 20L/min | 20L/min |
| Disjuntor | 30A | |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensão（cm） | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| Modelo | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Condutas | canal 1 | canal 2 |
| Faixa de temperatura | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Capacidade de resfriamento | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 6kW |
| Caudal do meio condutor de calor | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Humidade ambiente | 30～70% | 30～70% |
| Caudal de água de arrefecimento | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de resfriamento | 40L/min | 20L/min |
| Disjuntor | 80A | |
| Peso | 550 kg | |
| Dimensão（cm） | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| Modelo | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Condutas | canal 1 | canal 2 | canal 3 |
| Faixa de temperatura | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Capacidade de resfriamento | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 4kW | 4,5+6kW | 3kW |
| Caudal do meio condutor de calor | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Humidade ambiente | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Caudal de água de arrefecimento | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de resfriamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Disjuntor | 100A | ||
| Peso | 600 kg | ||
| Dimensão（cm） | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| Modelo | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Condutas | canal 1 | canal 2 | canal 3 |
| Faixa de temperatura | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Capacidade de resfriamento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 6kW | Perda de calor da bomba |
| Caudal do meio condutor de calor | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Humidade ambiente | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Caudal de água de arrefecimento | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura da água de resfriamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Disjuntor | 75A | ||
| Peso | 600 kg | ||
| Dimensão（cm） | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| Modelo | Sistema duplo FLTZ-203W/2T | Sistema duplo FLTZ-305W/2T | Sistema duplo FLTZ-406W/2T | |||
| Faixa de temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Caudal do meio condutor de calor | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacidade de aquecimento | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacidade de resfriamento | 3kW a-15℃ | 3kW a-15℃ | 5kW a-15℃ | 5kW a-15℃ | 2.5kW a -35℃ | 2.5kW a -35℃ |
| Volume do fluido da circulação interna | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volume do depósito de expansão | 15L | 25L | 25L | |||
| Meio condutor de calor | Líquido fluorado, anticongelante, óleo de silicone condutor térmico, etc. | |||||
| refrigerante | R404A/ R448 | |||||
| Interface do meio condutor de calor | ZG3/4 | |||||
| Interface da água de arrefecimento | ZG3/4 | |||||
| Interface da água de arrefecimento | 50L/min a20℃ | 600L/min a20℃ | 50L/min a20℃ | |||
| Potência | Trifásico 220V/Trifásico 400V/Trifásico 460V | |||||
Vantagens do produto
- Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
- Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
- Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
- Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
- Adotando a bomba de acionamento magnético, não há problema de vazamento de vedação do eixo;
- Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.
A bomba de frequência variável pode ajustar a pressão hidráulica de circulação e o caudal
sinal de saída do cliente
Função de comunicação
APLICAÇÕES
Unidade de controlo da temperatura do processo FAB de semicondutores
O fabrico de semicondutores é um processo com requisitos ambientais extremamente elevados, e muitas etapas do processo são muito sensíveis à temperatura.
O controlo preciso da temperatura pode garantir uma espessura uniforme e uma composição exacta das películas depositadas, melhorando assim o desempenho e o rendimento das pastilhas.
para o processo de embalagem e ensaio de semicondutores
O processo de embalagem e ensaio de semicondutores é um elo fundamental no processo de produção de semicondutores, incluindo o ensaio de bolachas, a embalagem de pastilhas e o ensaio pós-embalagem. Este processo exige não só um elevado grau de precisão e fiabilidade, mas também um controlo rigoroso da temperatura para garantir a qualidade e o desempenho do produto.
Por exemplo, refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab.
Arrefecimento de sensores CMOS/CCD em sistemas de metrologia de semicondutores.
Refrigerador de recirculação para sistema AOI de medição de semicondutores.
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Utilizado para Gravação e deposição por plasma em bisel; Gravação térmica em camada atómica de tungsténio metálico.
LNEYA fornece serviços personalizados de Chiller
tamanhos de refrigeradores personalizados
Quer se trate de refrigeradores portáteis, compactos, grandes ou pequenos, podemos concebê-los à medida das suas necessidades. Independentemente do número de toneladas de refrigerador de que necessita, podemos criar a melhor solução.
tipos de chillers personalizados
Fornecemos chillers de vários tipos de refrigeração, incluindo, entre outros, chillers arrefecidos a ar, arrefecidos a água e de condensação evaporativa. Independentemente do tipo de compressor de refrigeração, podemos projectá-lo de acordo com os seus requisitos.
gamas de temperatura personalizadas
Podemos criar uma solução personalizada para temperaturas de -150 ℃ a +350 ℃. Faixas de temperatura personalizadas para indústrias específicas.
tensão do chiller personalizada
Personalize a tensão e a fase do chiller de acordo com as suas necessidades. Opcional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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