FLTZ Variable Frequency Series Chiller for Semiconductor Industry

APLICAÇÕES

Semiconductor temperature control unit Chiller is mainly used for precise temperature control in the semiconductor production process and testing process. The company applies multiple algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.

Obter apoio

Pedido de informação @ Email

Caraterísticas do produto

PrimeiroTemperature Range: -90~+100℃

Segundo±0.05℃ (Outlet temperature steady state)

TerceiroHeating method within 40℃ uses compressor hot air heating

QuartoAir cooling and Water cooling are available

Parâmetros do produto

Model 1
Model 2
Model 3
Model 4
Model 5

FLTZ 5℃～90℃

Modelo	002 002W	003 003W	004 004W	006 006W	008 008W	010 010W	015 015W
Gama de temperaturas	5℃～90℃
Cooling capacity @10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
Volume do fluido de circulação interna	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume do depósito de expansão	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R410A
Refrigerating medium	Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃)
Tamanho da ligação	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Cooling water connection size	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Fluxo de água de arrefecimento @20℃	1,5m³/h	2m³/h	2,5m³/h	4m³/h	4,5m³/h	5,6m³/h	9m³/h
Dimensão cm	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10806001500	10806001500

FLTZ -25℃～90℃

Modelo	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
Gama de temperaturas	-25℃～90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.05℃（Steady state outlet temperature）
Controlo do fluxo	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
Cooling capacity @-15℃	2kW	3kW	3,8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
Volume do fluido de circulação interna	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume do depósito de expansão	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R404A
Refrigerating medium	Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc
Tamanho da ligação	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Cooling water connection size	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Fluxo de água de arrefecimento @20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Dimensão cm	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10806001500	10806001500
Process temperature control	The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm

FLTZ -45℃～90℃

Modelo	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
Gama de temperaturas	-45℃～90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.05℃（Steady state outlet temperature）
Controlo do fluxo	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 5bar max			25～75L/min 5bar max
Aquecimento	Using compressor heating, prevent condenser frosting technology
Cooling capacity @-35℃	1kW	1.4kW	1,8kW	2.5kW	3,3kW	5kW	8kW
Volume do fluido de circulação interna	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume do depósito de expansão	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R404A
Refrigerating medium	Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc
Tamanho da ligação	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Cooling water connection size	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Fluxo de água de arrefecimento @20℃	1,5 m³/H	2,4 m³/H	3,5 m³/H	5m³/H	5,5 m³/H	6m³/H	8m³/H
Dimensão cm	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10805001500	10805001500
Process temperature control	The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm

FLTZ -80℃～+90℃

Modelo	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
Gama de temperaturas	-80℃～+90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.05℃（Steady state outlet temperature）
Controlo do fluxo	7～25L/min 5bar max		12～45L/min 6bar max
Cooling capacityat-70℃	0,6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
Capacidade de aquecimento	2kW	2kW	2kW	3,5 kW	3,5 kW
Volume do fluido de circulação interna	4L	5L	6L	8L	10L
Volume do depósito de expansão	10L	10L	15L	15L	20L
Heat-conduction medium	Líquido fluorado
Tamanho da ligação	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Cooling water connection size	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Cooling water@20℃	1,8m3/h	2,5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
Circuit breaker	25A	25A	32A	40A	50A
Dimensão cm	5507001750	6508501850	7008501850	7008501850	80012001850
Process temperature control	The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm

FLTZ -100℃～+90℃

Modelo	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
Gama de temperaturas	-100℃～+90℃
Precisão do controlo da temperatura	±0.05℃（Steady state outlet temperature）
Controlo do fluxo	7～25L/min	12～45L/min
Cooling capacityat-90℃	1.5kW	3kW
Capacidade de aquecimento	3,5 kW	5,5 kW
Volume do fluido de circulação interna	5L	8L
Volume do depósito de expansão	10L	15L
Heat-conduction medium	Líquido fluorado
Tamanho da ligação	ZG3/4	ZG3/4
Cooling water connection size	ZG3/4	ZG1
Cooling water@20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
Circuit breaker	32A	63A
Process temperature control	The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm

Product Advantages

Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
Adotando a bomba de acionamento magnético, não há problema de vazamento de vedação do eixo;
Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.

A bomba de frequência variável pode ajustar a pressão hidráulica de circulação e o caudal

client output signal

Communication function

APLICAÇÕES

Unidade de controlo da temperatura do processo FAB de semicondutores

O fabrico de semicondutores é um processo com requisitos ambientais extremamente elevados, e muitas etapas do processo são muito sensíveis à temperatura.
O controlo preciso da temperatura pode garantir uma espessura uniforme e uma composição exacta das películas depositadas, melhorando assim o desempenho e o rendimento das pastilhas.

Saiba mais

for Semiconductor packaging & testing process

O processo de embalagem e ensaio de semicondutores é um elo fundamental no processo de produção de semicondutores, incluindo o ensaio de bolachas, a embalagem de pastilhas e o ensaio pós-embalagem. Este processo exige não só um elevado grau de precisão e fiabilidade, mas também um controlo rigoroso da temperatura para garantir a qualidade e o desempenho do produto.

Saiba mais>

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

LNEYA provides customized Chiller services

custom chiller sizes

Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.

custom chiller types

We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.

custom temperature ranges

We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.

custom chiller voltage

Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.

Visit LNEYA factory

Why choose lneya as your temperature control supplier?

Since our founding in 2006, we have served over 30,000 customers and hold several patents that demonstrate our innovation and reliability. Our chillers are selected for over 100 university laboratory projects worldwide and exported to over 20 countries. We ensure the highest quality through a rigorous 3-step quality control process: visual inspection, performance testing, and electrical safety testing. Our commitment to excellence is further backed by our 24/7 customer support commitment. In addition, we have agents in the United States, Canada, Australia, Russia, and South Korea, making us a global, trusted partner for your chiller needs. Choose lneya for quality and support for your project.

18+

Years of experience

30000+

Satisfied Customers

25000

m² Production Area

80+

Patented Technologies

contactar-nos

Envie-nos o seu pedido e entraremos em contacto consigo no prazo de 24 horas