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ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor

Chiller de permuta de calor da série ETCU sem compressor

APLICAÇÕES

O controlo independente da temperatura multicanal pode ter uma gama de temperaturas independente, capacidade de arrefecimento e aquecimento, fluxo do meio de transferência de calor, etc., utilizando dois sistemas independentes, escolher a refrigeração por compressão de vapor de acordo com a gama de temperaturas necessária, ou utilizar o sistema de permuta de calor sem compressor ETCU, o sistema pode utilizar o tanque de expansão, o condensador, o sistema de água de arrefecimento, etc., o que pode reduzir eficazmente o tamanho do equipamento e reduzir os passos de operação.

Caraterísticas do produto

 

Modelo ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Faixa de temperatura Temperatura da água de arrefecimento +5℃~90℃
Precisão do controle de temperatura ±0,05℃(Temperatura de saída em estado estacionário)
Temperatura da água de resfriamento 7℃~30℃ O fluxo de água de arrefecimento é controlado por válvulas reguladoras Siemens/Honeywell
Capacidade de resfriamento 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW
Condições de ensaio: Quando a quantidade máxima de circulação, a diferença de temperatura entre
a temperatura de controlo da temperatura e a temperatura da água de arrefecimento é de 15℃
Bomba de circulação 7~20L/min 5bar 15~40L/min 5bar 20~60L/min 5bar 40~110L/min 5bar 150~250L/min 5bar 250~500L/min 5bar 400~650L/min 5bar
Volume do depósito 5L 10L 20L 30L 60L 120L 240L
Dimensão mm 480*750*390 480*750*390 480*750*500 Personalização Personalização Personalização Personalização

APLICAÇÕES

Unidade de controlo da temperatura do processo FAB de semicondutores

O fabrico de semicondutores é um processo com requisitos ambientais extremamente elevados, e muitas etapas do processo são muito sensíveis à temperatura.
O controlo preciso da temperatura pode garantir uma espessura uniforme e uma composição exacta das películas depositadas, melhorando assim o desempenho e o rendimento das pastilhas.

para o processo de embalagem e ensaio de semicondutores

O processo de embalagem e ensaio de semicondutores é um elo fundamental no processo de produção de semicondutores, incluindo o ensaio de bolachas, a embalagem de pastilhas e o ensaio pós-embalagem. Este processo exige não só um elevado grau de precisão e fiabilidade, mas também um controlo rigoroso da temperatura para garantir a qualidade e o desempenho do produto.

Por exemplo, refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab.

Arrefecimento de sensores CMOS/CCD em sistemas de metrologia de semicondutores.

Refrigerador de recirculação para sistema AOI de medição de semicondutores.

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Utilizado para Gravação e deposição por plasma em bisel; Gravação térmica em camada atómica de tungsténio metálico.

A bomba de frequência variável pode ajustar a pressão hidráulica de circulação e o caudal

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