LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante Fornecedor
ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor
APLICAÇÕES
Multi-channel independent temperature control can have independent temperature range, cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc., using two independent systems, choose steam compression refrigeration according to the required temperature range, or use ETCU compressor-free heat exchange system, the system can use expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the operation steps.
Parâmetros do produto
| Modelo | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Gama de temperaturas | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Precisão do controlo da temperatura | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||||
| Temperatura da água de arrefecimento | 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves | ||||||
| Capacidade de arrefecimento | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| Test conditions: When the maximum circulation amount, the temperature difference between the temperature control temperature and the cooling water temperature is 15℃ |
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| Bomba de circulação | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Volume do depósito | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Dimensão mm | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Customization | Customization | Customization | Customization |
Product Advantages
- Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
- Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
- Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
- Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
- Adotando a bomba de acionamento magnético, não há problema de vazamento de vedação do eixo;
- Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.
APLICAÇÕES
Unidade de controlo da temperatura do processo FAB de semicondutores
O fabrico de semicondutores é um processo com requisitos ambientais extremamente elevados, e muitas etapas do processo são muito sensíveis à temperatura.
O controlo preciso da temperatura pode garantir uma espessura uniforme e uma composição exacta das películas depositadas, melhorando assim o desempenho e o rendimento das pastilhas.
for Semiconductor packaging & testing process
O processo de embalagem e ensaio de semicondutores é um elo fundamental no processo de produção de semicondutores, incluindo o ensaio de bolachas, a embalagem de pastilhas e o ensaio pós-embalagem. Este processo exige não só um elevado grau de precisão e fiabilidade, mas também um controlo rigoroso da temperatura para garantir a qualidade e o desempenho do produto.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
A bomba de frequência variável pode ajustar a pressão hidráulica de circulação e o caudal
sinal de saída do cliente
Função de comunicação
LNEYA provides customized services
custom ETCU sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom ETCU types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom ETCU voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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