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Que processo no fabrico de semicondutores requer um refrigerador multicanal? Porque é que é necessário?

Deposição química de vapor (CVD): No processo CVD, é utilizado um refrigerador multicanal para arrefecer as paredes da câmara de reação, os permutadores de calor e os permutadores de pré-aquecimento de gás para manter a temperatura da câmara de reação estável, assegurando um controlo preciso da espessura da película, da uniformidade e das reacções químicas.

Gravura e água-forte: Tanto a gravação a seco como a húmida requerem um controlo preciso da temperatura. O refrigerador multicanal assegura a temperatura do equipamento de gravação e do banho químico, o que afecta a taxa de gravação, a relação de seleção e a precisão gráfica.

Implantação de iões: A fonte de iões e a câmara do alvo têm de ser arrefecidas por um refrigerador para controlar a temperatura, evitar que o sobreaquecimento afecte a dispersão da energia dos iões e garantir a precisão da profundidade e da dosagem da injeção.

Tratamento térmico: como a oxidação, a difusão, o recozimento, a nitretação, o refrigerador multicanal controla a temperatura do forno para garantir uma temperatura uniforme, afectando a taxa de difusão, a ativação e a distribuição das impurezas.

Equipamento de ensaio: tais como bancos de ensaio de sondas e de ensaio de envelhecimento, os refrigeradores multicanal controlam a temperatura do ambiente de ensaio para garantir a estabilidade do equipamento e a reprodutibilidade dos resultados dos ensaios, especialmente para ensaios a altas ou baixas temperaturas.

Porque é que é necessário um refrigerador multicanal?

Precisão do controlo da temperatura: O design multi-canal pode controlar com maior precisão a temperatura de cada área, reduzir as flutuações de temperatura e garantir a consistência do processo.

Gestão de cargas térmicas elevadas: O fabrico de semicondutores gera uma grande quantidade de energia térmica, e os multicanais podem lidar eficazmente com uma grande quantidade de carga térmica para garantir a segurança e a eficiência do funcionamento do equipamento.

Flexibilidade: Vários canais podem ser ajustados de forma independente para satisfazer os requisitos específicos de temperatura de diferentes processos ou secções de equipamento, aumentando a flexibilidade do processo.

Fiabilidade: Backup a quente redundante, a falha de um único canal não afecta o funcionamento geral, melhora a estabilidade do sistema e reduz o tempo de inatividade.