refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Aplicações

As informações importantes, como a temperatura (pressão) de exaustão e de aspiração, a temperatura de condensação, a temperatura (pressão) da água de arrefecimento, a temperatura (pressão) do líquido (gás) de entrada e de saída, a potência eléctrica, a corrente e a tensão de cada componente e o nível do reservatório de água do chiller são geridas, monitorizadas e registadas de forma abrangente através de sensores ligados ao sistema de controlo.

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta o aquecimento a gás quente do compressor.

O sistema de circulação do refrigerador adopta um design totalmente fechado, e a bomba de circulação adopta uma bomba de acionamento magnético.

Teste de hélio do chiller 100%, teste dos regulamentos de segurança 100% para garantir a segurança e fiabilidade do sistema.

O refrigerador faz funcionar a máquina de fotocópias continuamente durante 24 horas a 100%.

refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

aparência

Proteção da segurança

Utilização da Schneider e de outras marcas de disjuntores de corrente residual, disjuntores de sequência de fase, protectores de nível de líquido, protectores de alta e baixa tensão e protectores de alta temperatura

Interface de comunicação de dados

A configuração padrão inclui um PT100, interface USB e interface de comunicação RS485. Podem ser seleccionados vários outros interfaces analógicos e sinais de contacto, bem como um interface Ethernet

Processo de candidatura

Amplamente aplicável a processos de gravação, deposição química de vapor e deposição física de vapor em fábricas de bolachas semicondutoras

Gravação de bolachas

Deposição de vapor químico

Deposição física de vapor

ETCH

DCV

PVD

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É amplamente utilizado no processo de fabrico de semicondutores para controlar a temperatura da câmara de reação, a temperatura do dissipador de calor e o controlo da temperatura do fluido não inflamável do meio de transferência de calor.

1. O teste de pressão de retenção do sistema de circulação do fluido é de 7 bar.
2. Utilizar uma bomba magnética de alta qualidade sem vedação mecânica do veio.
Otimizar a amostragem da temperatura e a velocidade de resposta, algoritmo de controlo especialmente concebido, pode responder rapidamente a um controlo estável da temperatura.
4. Melhorar a conceção da capacidade da bomba de circulação para satisfazer os requisitos de alta elevação do sistema.
5. A tecnologia de arrefecimento contínuo a alta temperatura satisfaz os requisitos para um funcionamento estável quando o calor é carregado na placa do dissipador de calor e requer um controlo constante da temperatura de arrefecimento e aquecimento.
6. Tendo em conta as caraterísticas voláteis do líquido fluorado, a conceção das juntas e a conceção da vedação do sistema são reforçadas para garantir a vida útil do fluido.

É amplamente utilizado no processo de fabrico de semicondutores para controlar a temperatura da câmara de reação, a temperatura do dissipador de calor e o controlo da temperatura do fluido não inflamável do meio de transferência de calor.

1. O teste de pressão de retenção do sistema de circulação do fluido é de 7 bar.
2. Utilizar uma bomba magnética de alta qualidade sem vedação mecânica do veio.
Otimizar a amostragem da temperatura e a velocidade de resposta, algoritmo de controlo especialmente concebido, pode responder rapidamente a um controlo estável da temperatura.
4. Melhorar a conceção da capacidade da bomba de circulação para satisfazer os requisitos de alta elevação do sistema.
5. A tecnologia de arrefecimento contínuo a alta temperatura satisfaz os requisitos para um funcionamento estável quando o calor é carregado na placa do dissipador de calor e requer um controlo constante da temperatura de arrefecimento e aquecimento.
6. Tendo em conta as caraterísticas voláteis do líquido fluorado, a conceção das juntas e a conceção da vedação do sistema são reforçadas para garantir a vida útil do fluido.

É amplamente utilizado no processo de fabrico de semicondutores para controlar a temperatura da câmara de reação, a temperatura do dissipador de calor e o controlo da temperatura do fluido não inflamável do meio de transferência de calor.

1. O teste de pressão de retenção do sistema de circulação do fluido é de 7 bar.
2. Utilizar uma bomba magnética de alta qualidade sem vedação mecânica do veio.
Otimizar a amostragem da temperatura e a velocidade de resposta, algoritmo de controlo especialmente concebido, pode responder rapidamente a um controlo estável da temperatura.
4. Melhorar a conceção da capacidade da bomba de circulação para satisfazer os requisitos de alta elevação do sistema.
5. A tecnologia de arrefecimento contínuo a alta temperatura satisfaz os requisitos para um funcionamento estável quando o calor é carregado na placa do dissipador de calor e requer um controlo constante da temperatura de arrefecimento e aquecimento.
6. Tendo em conta as caraterísticas voláteis do líquido fluorado, a conceção das juntas e a conceção da vedação do sistema são reforçadas para garantir a vida útil do fluido.

Parâmetros do produto

É amplamente utilizado no processo de fabrico de semicondutores para controlar a temperatura da câmara de reação, a temperatura do dissipador de calor e o controlo da temperatura do fluido não inflamável do meio de transferência de calor.

1. O teste de pressão de retenção do sistema de circulação do fluido é de 7 bar.
2. Utilizar uma bomba magnética de alta qualidade sem vedação mecânica do veio.
Otimizar a amostragem da temperatura e a velocidade de resposta, algoritmo de controlo especialmente concebido, pode responder rapidamente a um controlo estável da temperatura.
4. Melhorar a conceção da capacidade da bomba de circulação para satisfazer os requisitos de alta elevação do sistema.
5. A tecnologia de arrefecimento contínuo a alta temperatura satisfaz os requisitos para um funcionamento estável quando o calor é carregado na placa do dissipador de calor e requer um controlo constante da temperatura de arrefecimento e aquecimento.
6. Tendo em conta as caraterísticas voláteis do líquido fluorado, a conceção das juntas e a conceção da vedação do sistema são reforçadas para garantir a vida útil do fluido.

Faixa de controlo de temperatura: -45°C ~ 250°C ；Faixa de potência: 2,5kW ~ 25kW；Exatidão do controlo de temperatura: ± 0,3°C
Caixas de teste de alta e baixa temperatura específicas para chips No fabrico de componentes electrónicos de semicondutores para ambientes agressivos, as fases de montagem de embalagens IC e de testes de engenharia e produção incluem testes térmicos electrónicos a temperaturas (-85 °C a +200 °C) e outros ambientes. Testar a simulação. Uma vez colocados em utilização prática, estes dispositivos semicondutores e produtos electrónicos podem ser expostos a condições ambientais extremas para cumprir as exigentes normas de fiabilidade militar e de telecomunicações.