LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante Fornecedor
Série de chillers de frequência variável FLTZ para a indústria de semicondutores
APLICAÇÕES
Unidade de controlo da temperatura de semicondutores O refrigerador é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura no processo de produção de semicondutores e no processo de ensaio. A empresa aplica múltiplos algoritmos (PID, PID feedforward, algoritmo de auto-construção sem modelo) no sistema para obter uma resposta rápida do sistema e uma elevada precisão de controlo.
Parâmetros do produto
FLTZ 5℃～90℃
| Modelo | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| Faixa de temperatura | 5℃～90℃ | ||||||
| Capacidade de arrefecimento @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| refrigerante | R410A/R448A | ||||||
| Meio de refrigeração | Óleo de silicone, líquido fluorado, solução aquosa de poliol, DI, etc. (a temperatura DI tem de ser controlada acima de 10 ℃) | ||||||
| Tamanho da conexão | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Tamanho da ligação da água de arrefecimento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Fluxo de água de arrefecimento @20℃ | 1,5m³/h | 2m³/h | 2,5m³/h | 4m³/h | 4,5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
| Dimensão（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| Modelo | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Faixa de temperatura | -25℃～90℃ | ||||||
| Precisão do controle de temperatura | ±0,05℃（Temperatura de saída em estado estacionário） | ||||||
| Controlo do fluxo | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Capacidade de arrefecimento @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8kW | 6kW | 7,6kW | 10kW | 15kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| refrigerante | R404A/R448A | ||||||
| Meio de refrigeração | Óleo de silicone, líquido fluorado, solução de glicol, etc. | ||||||
| Tamanho da conexão | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Tamanho da ligação da água de arrefecimento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Fluxo de água de arrefecimento @20℃ | 1,2 m³/H | 1,6 m³/H | 2,6 m³/H | 3,6 m³/H | 5,5 m³/H | 7m³/H | 10,2 m³/H |
| Dimensão（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Controlo da temperatura do processo | A temperatura alvo remota pode ser controlada combinando o algoritmo de árvore auto-criado sem modelo e o algoritmo em cascata |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| Modelo | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Faixa de temperatura | -45℃～90℃ | ||||||
| Precisão do controle de temperatura | ±0,05℃（Temperatura de saída em estado estacionário） | ||||||
| Controlo do fluxo | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Aquecimento | Utilizar o aquecimento do compressor para evitar a tecnologia de congelação do condensador | ||||||
| Capacidade de arrefecimento @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1,8kW | 2.5kW | 3,3kW | 5kW | 8kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| refrigerante | R404A/R448A | ||||||
| Meio de refrigeração | Óleo de silicone, líquido fluorado, solução de glicol, etc. | ||||||
| Tamanho da conexão | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Tamanho da ligação da água de arrefecimento | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Fluxo de água de arrefecimento @20℃ | 1,5 m³/H | 2,4 m³/H | 3,5 m³/H | 5m³/H | 5,5 m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Dimensão（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| Controlo da temperatura do processo | A temperatura alvo remota pode ser controlada combinando o algoritmo de árvore auto-criado sem modelo e o algoritmo em cascata |
||||||
FLTZ -80℃～+90℃
| Modelo | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Faixa de temperatura | -80℃～+90℃ | ||||
| Precisão do controle de temperatura | ±0,05℃（Temperatura de saída em estado estacionário） | ||||
| Controlo do fluxo | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Capacidade de arrefecimento a-70℃ | 0,6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Meio de condução de calor | Líquido fluorado | ||||
| Tamanho da conexão | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Tamanho da ligação da água de arrefecimento | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Água de arrefecimento@20℃ | 1,8m3/h | 2,5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| Disjuntor | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Dimensão（cm） | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Controlo da temperatura do processo | A temperatura alvo remota pode ser controlada combinando o algoritmo de árvore auto-criado sem modelo e o algoritmo em cascata |
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FLTZ -100℃～+90℃
| Modelo | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Faixa de temperatura | -100℃～+90℃ | |
| Precisão do controle de temperatura | ±0,05℃（Temperatura de saída em estado estacionário） | |
| Controlo do fluxo | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Capacidade de arrefecimento a-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| Capacidade de aquecimento | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 5L | 8L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 15L |
| Meio de condução de calor | Líquido fluorado | |
| Tamanho da conexão | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Tamanho da ligação da água de arrefecimento | ZG3/4 | ZG1 |
| Água de arrefecimento@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| Disjuntor | 32A | 63A |
| Controlo da temperatura do processo | A temperatura alvo remota pode ser controlada combinando o algoritmo de árvore auto-criado sem modelo e o algoritmo em cascata |
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Vantagens do produto
- Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
- Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
- Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
- Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
- Adotando a bomba de acionamento magnético, não há problema de vazamento de vedação do eixo;
- Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.
A bomba de frequência variável pode ajustar a pressão hidráulica de circulação e o caudal
sinal de saída do cliente
Função de comunicação
APLICAÇÕES
Unidade de controlo da temperatura do processo FAB de semicondutores
O fabrico de semicondutores é um processo com requisitos ambientais extremamente elevados, e muitas etapas do processo são muito sensíveis à temperatura.
O controlo preciso da temperatura pode garantir uma espessura uniforme e uma composição exacta das películas depositadas, melhorando assim o desempenho e o rendimento das pastilhas.
para o processo de embalagem e ensaio de semicondutores
O processo de embalagem e ensaio de semicondutores é um elo fundamental no processo de produção de semicondutores, incluindo o ensaio de bolachas, a embalagem de pastilhas e o ensaio pós-embalagem. Este processo exige não só um elevado grau de precisão e fiabilidade, mas também um controlo rigoroso da temperatura para garantir a qualidade e o desempenho do produto.
Por exemplo, refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab.
Arrefecimento de sensores CMOS/CCD em sistemas de metrologia de semicondutores.
Refrigerador de recirculação para sistema AOI de medição de semicondutores.
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Utilizado para Gravação e deposição por plasma em bisel; Gravação térmica em camada atómica de tungsténio metálico.
LNEYA fornece serviços personalizados de Chiller
tamanhos de refrigeradores personalizados
Quer se trate de refrigeradores portáteis, compactos, grandes ou pequenos, podemos concebê-los à medida das suas necessidades. Independentemente do número de toneladas de refrigerador de que necessita, podemos criar a melhor solução.
tipos de chillers personalizados
Fornecemos chillers de vários tipos de refrigeração, incluindo, entre outros, chillers arrefecidos a ar, arrefecidos a água e de condensação evaporativa. Independentemente do tipo de compressor de refrigeração, podemos projectá-lo de acordo com os seus requisitos.
gamas de temperatura personalizadas
Podemos criar uma solução personalizada para temperaturas de -150 ℃ a +350 ℃. Faixas de temperatura personalizadas para indústrias específicas.
tensão do chiller personalizada
Personalize a tensão e a fase do chiller de acordo com as suas necessidades. Opcional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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