Controlo da temperatura e refrigeradores no processo de difusão por oxidação

2024-07-02 1278

O processo de difusão por oxidação é uma etapa fundamental no fabrico de semicondutores. É utilizado principalmente para formar camadas de óxido precisas e dopagem, e tem requisitos extremamente rigorosos para o controlo da temperatura. Neste processo, o arrefecedor, como um importante ...

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