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Mandril térmico

-75℃~225℃

A LNEYA fornece mandris a vácuo de 8 e 12 polegadas e placas frias quadradas personalizadas não padrão, suportando uma faixa de temperatura de -70℃ a +200℃, e também pode personalizar várias outras faixas de temperatura, com múltiplos sensores de temperatura integrados, controle de temperatura multizona, ajuste preciso de FID e controle de temperatura; suporta resfriamento direto, resfriamento por líquido e resfriamento a ar.

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Flatness of the plate ±15um
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Plate temp uniformity ±1℃
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Temperature Accuracy ±0.5℃
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Consumo de energia

-75°C

mais baixo

225°C

Mais alto

±0.5℃

Precisão do controle de temperatura

Faixa de temperatura  -70℃~200℃
(Pode ser personalizado em vários intervalos de temperatura)
Uniformidade da temperatura 土0.5℃
Taxa de aquecimento -55℃~+25℃:12 min
-40℃~+25℃:10 min
+25℃~+150℃:20 min
+25℃~+200℃:28 min
+25℃~+300℃:40 min
Taxa de arrefecimento +150℃~+25℃:25 min
+200℃~+25℃:30 min
+300℃~+25℃:40 min
+25℃~0℃:15 min
+25℃~-40℃:35 min
+25℃~-55℃:65 min
Método de arrefecimento Sistema de resfriamento direto / Sistema de resfriamento a líquido / Sistema de resfriamento a ar
Tipo de adsorção de wafer Adsorção a vácuo
Tamanho do mandril φ330*58mm
Alimentação 220V 50Hz 200~230V AC 50/60Hz, máx. 16A

Método de controle de temperatura

Múltiplos sensores de temperatura integrados, controle de temperatura multizona, controle preciso de temperatura FII

Porta-wafer

Niquelado (ouro/não condutor), conexão flexível com o mandril, fácil de substituir, planicidade do porta 3μm≤10μm

Comunicação

Modbus RTu protocol RS485 interface, optional CAN communication bus, Ethernet interface TCP/IP protocol

LNEYA never disappoints users!

Características do mandril a vácuo

A maior inovação da MD em matéria de ensaios térmicos é a série de mandris controlados termicamente, que são principalmente utilizados para ensaios de desempenho, modelação, desenvolvimento de processos, defeitos de conceção ou análise de falhas de CI de bolachas semicondutoras. Pode efetuar mudanças rápidas de temperatura e controlar a temperatura com precisão. O sistema tem o seu próprio frigorífico, o que evita o consumo de nitrogénio líquido, dióxido de carbono, etc., e cada sistema inclui um mandril e uma unidade de controlo a frio e a quente.

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LNEYA never disappoints users!

Demonstração do sistema de controle de temperatura ZLTZ com um chuck controlado por temperatura:

Monitoramento de temperatura em tempo real
Monitoramento da taxa de resfriamento em tempo real
Monitoramento de pressão em tempo real

Outros modelos de refrigeradores de arrefecimento direto

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sonda térmica

Temperature Accuracy ±0.2℃

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refrigeradores de temperatura ultra baixa

temperature accuracy ±1℃

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Mandril a vácuo/térmico

temperature accuracy ±0.5℃

Pode confiar na nossa fábrica de refrigeradores portáteis

Somos um fornecedor de chillers muito potente com a nossa própria fábrica e mais de 20 anos de experiência na área de controlo de temperatura

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Serviço global

Atendido mais de 30.000 clientes.
Exportado para mais de 20 países.

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Patentes de certificação

Obteve a certificação CE, certificação SGS, certificação ISO.

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Serviço pós-venda

Fornecer treinamento técnico completo.
Com soluções 24/7.

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Equipa profissional

Fundada em 2010, com 15 anos de experiência no setor.
20% dos funcionários são técnicos.

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Controle de qualidade

Inspeção visual.
Teste de desempenho.
Teste de segurança elétrica.

O tamanho da placa do mandril inclui discos com diâmetros de 200 mm e 300 mm, e uma placa retangular de 150 mm por 200 mm.
O tratamento de superfície da plataforma de trabalho é niquelagem eletrolítica, também podendo ser escolhida a douração.

Não, além da proteção à prova de explosão por pressão positiva, também podemos personalizar proteção à prova de explosão isolada que atenda aos padrões conforme suas necessidades.

Aumento de temperatura-60℃~+25℃2min
0℃~+25℃2min
+25℃~+220℃6min
Queda de temperatura+220℃~+25℃2min
+25℃~-60℃6min
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