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Single channel chillers
FLTZ -45℃~90℃
FLTZ single channel chiller easily achieves independent and precise temperature control for multiple fluid channels, with a temperature control accuracy of up to ±0.1℃, widely applied in the semiconductor industry.
fltz series
-45°C
mais baixo
90°C
Mais alto
±0.1℃
Precisão do controlo da temperatura
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| Modelo | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| Gama de temperaturas | 5℃～90℃ | ||||||
| Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R410A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃) | ||||||
| Fluxo de água de arrefecimento @20℃ | 1,5m³/h | 2m³/h | 2,5m³/h | 4m³/h | 4,5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
| Dimensão cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 950*380*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| Modelo | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Gama de temperaturas | -25℃～90℃ | ||||||
| Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||||
| Caudal MAX | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| Fluxo de água de arrefecimento @20℃ | 1,2 m³/H | 1,6 m³/H | 2,6 m³/H | 3,6 m³/H | 5,5 m³/H | 7m³/H | 10,2 m³/H |
| Dimensão cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| Modelo | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Gama de temperaturas | -45℃～90℃ | ||||||
| Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||||
| Caudal MAX | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Aquecimento | Uses compressor heat to prevent condenser frost. | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1,8kW | 2.5kW | 3,3kW | 5kW | 8kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| Fluxo de água de arrefecimento @20℃ | 1,5 m³/H | 2,4 m³/H | 3,5 m³/H | 5m³/H | 5,5 m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Dimensão cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*50*150 | 108*50*150 |
| Modelo | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Gama de temperaturas | -80℃～+90℃ | ||||
| Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||
| Caudal MAX | 7～25L/min 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| Cooling capacity @-70℃ | 0,6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Refrigerante | Fluorinated fluids | ||||
| Fluxo de água de arrefecimento @20℃ | 1,8m3/h | 2,5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| Circuit Breakers | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Modelo | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Gama de temperaturas | -100℃～+90℃ | |
| Precisão do controlo da temperatura | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | |
| Controlo do fluxo | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| Capacidade de aquecimento | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Volume do fluido de circulação interna | 5L | 8L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 15L |
| Heat-conduction medium | Líquido fluorado | |
| Cooling water@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
|
Modelo |
FLTZ-001S |
FLTZ-002S |
FLTZ-003S |
FLTZ-004S |
FLTZ-006S |
FLTZ-008WS |
FLTZ-010WS |
|
Gama de temperaturas |
15℃～25℃ |
||||||
|
Precisão do controlo da temperatura |
±0.005℃ Temperature control accuracy at the equipment outlet |
||||||
|
Flow Rate |
7L/min 3bar |
15L/min at 4bar |
30L/min at 4bar |
75L/min at 4bar |
|||
|
Potência de aquecimento |
Technology of using compressor heating to prevent condenser frosting |
||||||
|
Capacidade de arrefecimento @20℃ |
3kw |
7kw |
10.5kw |
14 kw |
21kw |
28kw |
35kw |
|
Liquid Storage Capacity |
8L |
15L |
20L |
30L |
50L |
60L |
80L |
|
Refrigerante |
R1234fa （ODP=0 GWP=4） |
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|
Secondary Refrigerant(Coolant) |
Purified Water |
||||||
Single-channel chillers are primarily used for precise temperature control in semiconductor production and testing. The company utilizes multiple algorithms (PID, feedforward PID, and model-free self-building tree algorithms) to achieve fast response and high control accuracy.
Under load, the system offers high temperature control accuracy, allowing for flexible switching between -100°C and +90°C with excellent temperature compliance. Advanced low-temperature refrigeration technology supports ultra-low temperature control from -100°C to -80°C.
Single Channel Chiller Applications
Para equipamentos de teste de envelhecimento
O sistema de secagem térmica correspondente fornece a temperatura de arrefecimento e aquecimento, melhora a eficiência do teste e a qualidade dos chips de wafer e tem um pequeno erro de precisão de temperatura.
Para equipamentos de teste de chips
O refrigerador térmico é compatível com a máquina de teste, com uma precisão de controlo da temperatura de ±0,05℃, o que melhora a eficiência dos testes de chips do instituto.
Para fábrica de semicondutores
O refrigerador de processo é utilizado em fábricas de semicondutores, com controlo de temperatura de arrefecimento e aquecimento de alta precisão, o que melhora a taxa de fabrico de wafers e reduz a taxa de refugo.
Why Choose LNEYA® ?
The semiconductor industry has very strict requirements on temperature control accuracy. Many process steps are extremely sensitive to temperature changes. The performance and quality of the products rely on high-precision semiconductor chillers. LNEYA provides professional thermal management solutions for the semiconductor industry.
Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.
Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
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