Chiller para semicondutores com controle preciso de temperatura

Visão geral dos chillers para semicondutores

A indústria de semicondutores exige controle de temperatura extremamente preciso. Muitos processos de fabricação e teste são altamente sensíveis até mesmo a pequenas mudanças de temperatura. O desempenho do produto e o rendimento dependem de sistemas de resfriamento estáveis e de alta precisão.
 
A LNEYA é um fabricante líder de chillers avançados para aplicações em semicondutores. Desde 2010, fornecemos equipamentos confiáveis de controle de temperatura para processamento, embalagem e linhas de teste de wafers. Nossa linha de produtos inclui chillers padrão e personalizados projetados para desempenho preciso e repetível.
 
Para processos especializados, podemos personalizar uma solução de resfriamento de acordo com suas necessidades em faixa de temperatura, capacidade e interface de controle.
 
Entre em contato com nossa equipe de engenharia para solicitar um catálogo de produtos ou obter um orçamento para o seu sistema de resfriamento de semicondutores.

LNEYA® Semiconductor Chillers Characteristics

• Alta eficiência, produção estável e resultados repetíveis.
• Use um trocador de calor de placas e um aquecedor de tubo para melhorar a velocidade de resfriamento e aquecimento.
• Extremely wide temperature range（-150℃ to +350℃）, no need to change liquid medium.
• Sistema totalmente fechado para prolongar a vida útil do fluido térmico.
• Use bomba de acionamento magnético, sem problemas de vazamento no selo do eixo.
• High temperature cooling technology, 300℃ direct start compressor cooling.

Aplicações de chillers para semicondutores

A fabricação de semicondutores exige sistemas de resfriamento estáveis e precisos. Um chiller confiável para semicondutores ajuda a controlar a temperatura durante o processamento, gravação e testes de wafers. Na LNEYA, projetamos chillers para semicondutores com alta precisão de temperatura, operação em uma ampla faixa e estabilidade confiável a longo prazo.
 
A fabricação de semicondutores requer condições ambientais extremamente estáveis. Mesmo um pequeno desvio de temperatura pode afetar o rendimento do produto e a confiabilidade do dispositivo. Um chiller para semicondutores oferece controle preciso da temperatura durante etapas críticas do processo, como embalagem, testes e fabricação de wafers.
 
Esses chillers são amplamente utilizados para resfriamento de processos em fábricas de semicondutores e sistemas de metrologia. Eles ajudam a estabilizar os sensores CMOS e CCD, mantêm a temperatura nos sistemas de inspeção AOI e fornecem resfriamento independente para as paredes da câmara durante o ataque plasma ou deposição de filmes finos.
 
Em aplicações como o ataque térmico por camada atômica de tungstênio metálico, o resfriamento consistente garante resultados repetíveis e maior vida útil do equipamento.