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Chillers multicanal

Faixa de temperatura -45℃~90℃, Preciso ±0.1℃, Controle independente

Resfria múltiplos processos com uma unidade. Confiável, compacto e economizador de energia.

Resfria vários processos com uma única unidade. Confiável, compacto e econômico em energia.

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O chiller multicanal FLTZ pode realizar controle de temperatura independente para cada canal. Podemos definir o mesmo ou diferente intervalo de temperatura, taxa de fluxo do meio de transferência de calor, etc., para cada canal de acordo com suas necessidades.
 
Os canais não se afetam mutuamente. Mesmo que um canal falhe, isso não afetará a operação dos outros canais.
 
A linha de chillers multicanal FLTZ inclui modelos padrão de dois e três canais. Para aplicações especializadas, oferecemos soluções personalizadas adaptadas às suas necessidades específicas, incluindo número de canais, parâmetros de controle e tamanho do equipamento.

Características dos chillers multicanal

<trp-post-container data-trp-post-id='12609'>Multi channel Chillers</trp-post-container>(images 2)

1. Controle de temperatura independente

Os chillers multicanal de frequência variável FLTZ possuem função de controle de temperatura independente para cada canal. Diferentes canais podem ser projetados com diferentes faixas de temperatura, capacidades de aquecimento e resfriamento e taxas de fluxo do meio de transferência de calor. De acordo com a faixa de temperatura necessária, pode-se selecionar refrigeração por compressão de vapor ou sistema de troca de calor sem compressor ETCU.

2. Controle centralizado

Os chillers multicanais de frequência variável FLTZ podem controlar vários sistemas de canais de fluido com um único equipamento central. É possível monitorar vários canais remotamente através de um único sistema. Esse controle centralizado não só melhora a eficiência operacional, como também otimiza o diagnóstico de falhas e os procedimentos de operação.

3. Economiza espaço e reduz a fiação

Canais diferentes podem utilizar tanques de expansão, condensadores, sistemas de água de resfriamento etc., o que reduz de forma eficaz a quantidade de fiação e o tamanho do equipamento, tornando seus chillers multicanais mais compactos e ocupando menos espaço.

4. Controle de temperatura preciso e estável

Os chillers multicanais de frequência variável FLTZ possuem uma precisão de controle de temperatura de até ±0,1℃. Adotam um algoritmo de árvore auto-construído sem modelo e um preditor de histerese, controlando simultaneamente ventiladores de frequência variável, válvulas de expansão eletrônicas e compressores de frequência variável, garantindo a estabilidade do controle de temperatura quando a carga térmica flutua.

5. Economia de energia com frequência variável

Os chillers multicanais de frequência variável FLTZ estão equipados com compressor, ventilador e bomba de frequência variável, que podem controlar a velocidade do motor do compressor, ventilador e bomba, respectivamente, de acordo com a carga do seu equipamento.

6. Aquecimento do compressor

Quando a temperatura é inferior a 40℃, os chillers multicanais podem circular o gás de escape quente através da válvula de expansão, e o fluido circulante pode ser aquecido sem aquecedor.

7. Redução do custo de manutenção da bomba

Os chillers adotam uma bomba de acionamento magnético sem vedação mecânica, não havendo problema de vazamento do eixo, portanto não é necessário verificar regularmente vazamentos da bomba ou substituir a vedação mecânica, o que reduz significativamente o custo operacional da bomba.

8. Função de comunicação

Os protocolos de comunicação do chiller de processo multicanal incluem a interface RS485 com protocolo Modbus RTU e a interface Ethernet com protocolo TCP/IP.

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9. Tela sensível ao toque fácil de usar

Este chiller de recirculação multicanal utiliza uma tela sensível ao toque colorida personalizada, que não só exibe o estado operacional do equipamento em tempo real, mas também monitora condições anormais durante a operação do equipamento em tempo real. A interface de operação é simples e fácil de entender, e as configurações podem ser concluídas através de gestos e deslizamentos simples.

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10. Rede global de fornecimento

A LNEYA possui uma rede de mercado abrangente no mundo, e seus chillers são exportados para mais de 30 países e regiões. Possui agentes em muitos países como Estados Unidos, Canadá, Austrália, Rússia, Coreia do Sul, etc. Portanto, podemos fornecer nossos chillers e serviços de alta qualidade em todo o mundo.

Aplicações de chillers multicanais

Os resfriadores multicanal FLTZ são amplamente utilizados na indústria de semicondutores devido às suas vantagens, como controle preciso de temperatura, gerenciamento independente de circuitos e resfriamento rápido. Os cenários de aplicação de resfriadores para semicondutores incluem fabricação de wafers, testes de embalagem, fotolitografia, gravação, deposição CVD/PVD, processos de limpeza, etc.

Fotolitografia

O sistema de exposição, as lentes ópticas, as fontes de luz laser e as placas de máscara da máquina de fotolitografia requerem controle preciso de temperatura para garantir a precisão do padrão.

Gravação

Durante o processo de gravação a plasma (RIE, ICP, etc.), a câmara e os eletrodos precisam ser rigorosamente controlados em temperatura para garantir a uniformidade da gravação. O resfriador pode fornecer um ambiente de temperatura estável para o equipamento de gravação e reduzir as variações do processo.

Deposição química a vapor (CVD) / Deposição física a vapor (PVD)

CVD (como LPCVD, PECVD) e PVD (como revestimento por pulverização) são utilizados para deposição de filmes finos, e o controle de temperatura da câmara e do substrato afeta a qualidade do filme.

Implantação iônica

O feixe de partículas de alta energia gerado durante a implantação iônica pode causar altas temperaturas locais. O resfriador de processo pode remover rapidamente o calor para evitar danos térmicos à wafer.

Recozimento

Durante o processo de recozimento, o chiller precisa ajustar dinamicamente a taxa de resfriamento para otimizar a eficiência de ativação dos átomos dopados.

Limpeza úmida

É usado para manter a água desionizada dentro de uma faixa de temperatura específica para remover resíduos de fotorresist, contaminação metálica e partículas.

Embalagem de chips

No processo de embalagem de BGA, CSP, FCBGA, etc., o controle de temperatura dos materiais de soldagem e embalagem afeta a confiabilidade.

Resfria vários processos com uma única unidade. Confiável, compacto e econômico em energia.  Specification

Quando você precisa de um chiller multicanal FLTZ?

Se você precisa de controle de temperatura independente para vários equipamentos ou processos diferentes e não deseja comprar vários resfriadores independentes, os resfriadores multicanal FLTZ são uma escolha muito ideal.

  • É necessário resfriar vários equipamentos ou processos diferentes ao mesmo tempo.
  • É necessário realizar o controle de temperatura independente de diferentes canais.
  • É necessário reduzir o custo de aquisição de equipamentos.
  • É necessário economizar o espaço ocupado pelos equipamentos.
  • É necessário reduzir o consumo de energia operacional do chiller.
  • É necessário um método de gestão mais inteligente e centralizado.
  • É necessário maior estabilidade e confiabilidade do sistema.

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A LNEYA foi fundada em Wuxi, China, em 2010. Atualmente, a empresa possui uma área de fábrica de 25.000㎡
com uma produção anual de 5.000 unidades e um valor de produção superior a 300 milhões por dois anos consecutivos.
 
Desde a sua fundação, a LNEYA tem se concentrado em fornecer serviços de controle de alta e baixa temperatura, ultra-baixa temperatura e controle preciso de temperatura para as indústrias de semicondutores, produtos químicos farmacêuticos, novas energias, aeroespacial e outras.
 
Atendemos mais de 30.000 clientes em todo o mundo e possuímos mais de 130 patentes.
 
Nossos chillers foram selecionados por mais de 100 projetos de laboratórios universitários em todo o mundo e exportados para mais de 20 países. Temos agentes em vários países e regiões da Europa.

Perguntas Frequentes

Sim, os chillers multicanal FLTZ fornecem funções de comunicação remota e controle centralizado; você pode monitorar e gerenciar vários canais remotamente para melhorar a eficiência do trabalho.

Cada canal dentro do chiller multicanal FLTZ é independente; mesmo que um canal falhe, isso não afetará o funcionamento dos outros canais.

Os chillers multicanal FLTZ podem ser personalizados de acordo com suas necessidades específicas de energia, incluindo ajuste de tensão e fase para acomodar várias configurações de energia.

A LNEYA fornece entrega rápida, e os modelos padrão geralmente estão disponíveis para envio imediato. Soluções personalizadas podem levar algum tempo, dependendo das especificações.

Os chillers multicanal economizam espaço no piso, reduzem o trabalho de fiação, compartilham tanques de expansão, condensadores e sistemas de água de resfriamento, o que pode reduzir os custos de aquisição e manutenção, e um canal com defeito não afeta a operação dos outros canais.

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