Chillers multicanal
Faixa de temperatura -45℃~90℃, Preciso ±0.1℃, Controle independente
Resfria múltiplos processos com uma unidade. Confiável, compacto e economizador de energia.
Resfria vários processos com uma única unidade. Confiável, compacto e econômico em energia.

O chiller multicanal FLTZ pode realizar controle de temperatura independente para cada canal. Podemos definir o mesmo ou diferente intervalo de temperatura, taxa de fluxo do meio de transferência de calor, etc., para cada canal de acordo com suas necessidades.
Os canais não se afetam mutuamente. Mesmo que um canal falhe, isso não afetará a operação dos outros canais.
A linha de chillers multicanal FLTZ inclui modelos padrão de dois e três canais. Para aplicações especializadas, oferecemos soluções personalizadas adaptadas às suas necessidades específicas, incluindo número de canais, parâmetros de controle e tamanho do equipamento.
Características dos chillers multicanal

1. Controle de temperatura independente
Os chillers multicanal de frequência variável FLTZ possuem função de controle de temperatura independente para cada canal. Diferentes canais podem ser projetados com diferentes faixas de temperatura, capacidades de aquecimento e resfriamento e taxas de fluxo do meio de transferência de calor. De acordo com a faixa de temperatura necessária, pode-se selecionar refrigeração por compressão de vapor ou sistema de troca de calor sem compressor ETCU.
2. Controle centralizado
Os chillers multicanais de frequência variável FLTZ podem controlar vários sistemas de canais de fluido com um único equipamento central. É possível monitorar vários canais remotamente através de um único sistema. Esse controle centralizado não só melhora a eficiência operacional, como também otimiza o diagnóstico de falhas e os procedimentos de operação.
3. Economiza espaço e reduz a fiação
Canais diferentes podem utilizar tanques de expansão, condensadores, sistemas de água de resfriamento etc., o que reduz de forma eficaz a quantidade de fiação e o tamanho do equipamento, tornando seus chillers multicanais mais compactos e ocupando menos espaço.
4. Controle de temperatura preciso e estável
Os chillers multicanais de frequência variável FLTZ possuem uma precisão de controle de temperatura de até ±0,1℃. Adotam um algoritmo de árvore auto-construído sem modelo e um preditor de histerese, controlando simultaneamente ventiladores de frequência variável, válvulas de expansão eletrônicas e compressores de frequência variável, garantindo a estabilidade do controle de temperatura quando a carga térmica flutua.
5. Economia de energia com frequência variável
Os chillers multicanais de frequência variável FLTZ estão equipados com compressor, ventilador e bomba de frequência variável, que podem controlar a velocidade do motor do compressor, ventilador e bomba, respectivamente, de acordo com a carga do seu equipamento.
6. Aquecimento do compressor
Quando a temperatura é inferior a 40℃, os chillers multicanais podem circular o gás de escape quente através da válvula de expansão, e o fluido circulante pode ser aquecido sem aquecedor.
7. Redução do custo de manutenção da bomba
Os chillers adotam uma bomba de acionamento magnético sem vedação mecânica, não havendo problema de vazamento do eixo, portanto não é necessário verificar regularmente vazamentos da bomba ou substituir a vedação mecânica, o que reduz significativamente o custo operacional da bomba.
8. Função de comunicação
Os protocolos de comunicação do chiller de processo multicanal incluem a interface RS485 com protocolo Modbus RTU e a interface Ethernet com protocolo TCP/IP.

9. Tela sensível ao toque fácil de usar
Este chiller de recirculação multicanal utiliza uma tela sensível ao toque colorida personalizada, que não só exibe o estado operacional do equipamento em tempo real, mas também monitora condições anormais durante a operação do equipamento em tempo real. A interface de operação é simples e fácil de entender, e as configurações podem ser concluídas através de gestos e deslizamentos simples.


10. Rede global de fornecimento
A LNEYA possui uma rede de mercado abrangente no mundo, e seus chillers são exportados para mais de 30 países e regiões. Possui agentes em muitos países como Estados Unidos, Canadá, Austrália, Rússia, Coreia do Sul, etc. Portanto, podemos fornecer nossos chillers e serviços de alta qualidade em todo o mundo.
Aplicações de chillers multicanais
Os resfriadores multicanal FLTZ são amplamente utilizados na indústria de semicondutores devido às suas vantagens, como controle preciso de temperatura, gerenciamento independente de circuitos e resfriamento rápido. Os cenários de aplicação de resfriadores para semicondutores incluem fabricação de wafers, testes de embalagem, fotolitografia, gravação, deposição CVD/PVD, processos de limpeza, etc.
• Fotolitografia
O sistema de exposição, as lentes ópticas, as fontes de luz laser e as placas de máscara da máquina de fotolitografia requerem controle preciso de temperatura para garantir a precisão do padrão.
• Gravação
Durante o processo de gravação a plasma (RIE, ICP, etc.), a câmara e os eletrodos precisam ser rigorosamente controlados em temperatura para garantir a uniformidade da gravação. O resfriador pode fornecer um ambiente de temperatura estável para o equipamento de gravação e reduzir as variações do processo.
• Deposição química a vapor (CVD) / Deposição física a vapor (PVD)
CVD (como LPCVD, PECVD) e PVD (como revestimento por pulverização) são utilizados para deposição de filmes finos, e o controle de temperatura da câmara e do substrato afeta a qualidade do filme.
• Implantação iônica
O feixe de partículas de alta energia gerado durante a implantação iônica pode causar altas temperaturas locais. O resfriador de processo pode remover rapidamente o calor para evitar danos térmicos à wafer.
• Recozimento
Durante o processo de recozimento, o chiller precisa ajustar dinamicamente a taxa de resfriamento para otimizar a eficiência de ativação dos átomos dopados.
• Limpeza úmida
É usado para manter a água desionizada dentro de uma faixa de temperatura específica para remover resíduos de fotorresist, contaminação metálica e partículas.
• Embalagem de chips
No processo de embalagem de BGA, CSP, FCBGA, etc., o controle de temperatura dos materiais de soldagem e embalagem afeta a confiabilidade.
Resfria vários processos com uma única unidade. Confiável, compacto e econômico em energia. Specification
| Modelo | FLTZ-203W-2T | |
| Condutas | canal 1 | canal 2 |
| Faixa de temperatura | -20℃~+90℃ | -20℃~+90℃ |
| Capacidade de resfriamento | ±0,1℃(Precisão de controle de temperatura personalizável de ±0,01℃) | |
| Capacidade de aquecimento | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Caudal do meio condutor de calor | 2kW | 2kW |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| Interface de transferência de calor | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35℃ | 10~35℃ |
| Humidade ambiente | 30~70% | 30~70% |
| Temperatura da água de resfriamento | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Caudal de água de arrefecimento | 20L/min | 20L/min |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensão(cm) | 50*90*160 | |
| Modelo | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Condutas | canal 1 | canal 2 |
| Faixa de temperatura | -45℃~+40℃ | +10℃~+80℃ |
| Capacidade de resfriamento | ±0,1℃(Precisão de controle de temperatura personalizável de ±0,01℃) | |
| Capacidade de aquecimento | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| Caudal do meio condutor de calor | 2kW | 6kW |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Interface de transferência de calor | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35℃ | 10~35℃ |
| Humidade ambiente | 30~70% | 30~70% |
| Temperatura da água de resfriamento | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Caudal de água de arrefecimento | 40L/min | 20L/min |
| Peso | 550 kg | |
| Dimensão(cm) | 60*100*185 | |
| Modelo | Sistema duplo FLTZ-203W/2T | FLTZ-305W/2T sistema duplo | Sistema duplo FLTZ-406W/2T | |||
| Faixa de temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Precisão do controle de temperatura | ±0,1℃(Precisão de controle de temperatura personalizável de ±0,01℃) | |||||
| Caudal do meio condutor de calor | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacidade de aquecimento | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacidade de resfriamento | 3kW @-15℃ | 3kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 2.5kW @ -35℃ | 2.5kW @ -35℃ |
| Volume do fluido da circulação interna | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Interface da água de arrefecimento | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Modelo | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Condutas | canal 1 | canal 2 | canal 3 |
| Faixa de temperatura | -10℃~+60℃ | +30℃~+80℃ | -10℃~+80℃ |
| Estabilidade da temperatura | ±0,1℃(Precisão de controle de temperatura personalizável de ±0,01℃) | ||
| Capacidade de resfriamento | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 4kW | 4,5+6kW | 3kW |
| Caudal do meio condutor de calor | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ |
| Humidade ambiente | 30~70% | 30~70% | 30~70% |
| Caudal de água de arrefecimento | 15~20℃ | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Temperatura da água de resfriamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Disjuntor | 100A | ||
| Peso | 600 kg | ||
| Dimensão(cm) | 60*100*170 | ||
| Modelo | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Condutas | canal 1 | canal 2 | canal 3 |
| Faixa de temperatura | -20℃~+50℃ | +30℃~+100℃ | +30℃~+40℃ |
| Estabilidade da temperatura | ±0,1℃(Precisão de controle de temperatura personalizável de ±0,01℃) | ||
| Capacidade de resfriamento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacidade de aquecimento | 2kW | 6kW | Perda de calor da bomba |
| Caudal do meio condutor de calor | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| Tamanho da ligação média condutora de calor | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ |
| Humidade ambiente | 30~70% | 30~70% | 30~70% |
| Caudal de água de arrefecimento | 15~20℃ | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Temperatura da água de resfriamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Disjuntor | 75A | ||
| Peso | 600 kg | ||
| Dimensão(cm) | 60*100*170 | ||
Produtos de canal único relacionados a chillers multicanais
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Atendemos mais de 30.000 clientes em todo o mundo e possuímos mais de 130 patentes.
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