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MD Series Thermal Chuck

Mandril térmico da série MD

APLICAÇÕES

Pode conseguir mudanças rápidas de temperatura e controlar a temperatura com precisão. O próprio sistema é fornecido com um frigorífico, evitando o consumo de nitrogénio líquido, dióxido de carbono, etc. Cada sistema inclui um mandril e uma unidade de controlo de quente e frio.

MD -75℃~225℃

 

Modelo MD SERIES
Gama de temperaturas -75℃~225℃
Precisão do controle de temperatura ±0,5℃(Temperatura de saída em estado estável)
Uniformidade da temperatura da placa ±1℃
Planicidade da placa ±15um
Cabo de conexão entre host e placa 2,5 m (outras comprimentos podem ser personalizados)
Tratamento de superfícies planas Banho de níquel (opcional banho de ouro)
Aquecimento -60°C a +25°C: 2 min
0°C to +25°C: 2 min
+25°C a +220°C: 6 min
refrigeração 220°C a +25°C: 2 min
+25°C a -60°C: 6 min
Sistema de controlo Controlador PLC, algoritmo fuzzy PID feedforward para aquecimento, válvula de expansão eletrônica PID para resfriamento
controle da capacidade de resfriamento
Visualização e registo Tela sensível ao toque colorida de 7 polegadas, registro da curva de temperatura e alarme
Comunicação Ethernet interface,TCP/IP protocol
Wafer carrier Nickel-platedgold/non-conductive coating)ithflexible chuckconnectionforeasy carrierlatereplacement
Tipo de adsorção de wafer     ensuring surfaceflatnesswithin3um<10um
Power supply 220V50HZ     Vacuum Chuck System
Communication mode     200~230VA50/60HZmax

 

MD series provides an open surface flat work platform with rapid temperature rise and fall and constant temperature control. It is used for RF device and high-density power device testing. It can also be used for rapid cooling of laboratory flat panels (plasma, biological products, batteries), etc. The refrigerant is directly evaporated inside the flat panel, which greatly improves the heat exchange efficiency compared to the liquid cooling method and increases the heat exchange power of the flat panel per unit area.

 

 

APLICAÇÕES

Temperature control solution for Semiconductor packaging and testing process

O processo de embalagem e ensaio de semicondutores é um elo fundamental no processo de produção de semicondutores, incluindo o ensaio de bolachas, a embalagem de pastilhas e o ensaio pós-embalagem. Este processo não só requer um elevado grau de precisão e fiabilidade, como também exige um controlo rigoroso da temperatura para garantir a qualidade e o desempenho do produto.

Materiais aeroespaciais | Solução de controlo da temperatura do equipamento de teste

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