LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante Fornecedor
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Controle de qualidade
Teste de qualidade.
Chillers de processo
Chiller resfriado a água e chiller resfriado a ar
LENYA Alto–Precisão Chiller ensure the controllable accuracy of ± 0.05℃
maior precisão no controle de temperatura, faixa de controle de temperatura mais ampla e velocidade de resfriamento mais rápida.
refrigerador de processo
thermal chiller
refrigerador de água recirculante
FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
FLTZ -25℃~90℃ é um chiller de processo compacto e integrado de baixa temperatura com um sistema totalmente fechado. A baixa temperatura impede a absorção de umidade do ar, enquanto a alta temperatura não volatiliza o meio de transferência de calor nem produz névoa de óleo. O sistema pode reabastecer automaticamente o meio de transferência de calor no circuito de circulação.
As a trusted industrial chiller supplier, LNEYA provides chillers with high temperature control accuracy. FLTZ -25℃~90℃ offers a wide temperature range and precision control up to ±0.05℃Oferece resfriamento rápido e atende aos requisitos de vários processos, garantindo desempenho estável e operação confiável.
Parâmetros do FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
“W”represents optional water cooling, default air cooling.
| FLTZ SERIES | 002 002W | 003 003W | 004 004W | 006 006W | 008 008W | 010 010W | 015 015W |
| Faixa de temperatura | 5℃～90℃ | ||||||
| Precisão do controle de temperatura | ±0.05℃（Temperatura de saída em estado estacionário） | ||||||
| Capacidade de resfriamento @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| refrigerante | R410A | ||||||
| Fluxo de água de resfriamento @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| Volume do fluido de circulação interna | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume do depósito de expansão | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| refrigerante | R410A | ||||||
| Tamanho da conexão | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Tamanho da ligação da água de arrefecimento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Meio de refrigeração | Óleo de silicone, líquido fluorinado, solução aquosa de poliol, DI, etc. (a temperatura do DI precisa ser controlada acima de 10℃) | ||||||
| Controlo da temperatura do processo | A temperatura alvo remota pode ser controlada através da combinação do modelo autocriado livre de autocontrolo. algoritmo de árvore construído e algoritmo em cascata | ||||||
Características dos chillers de processo FLTZ -25℃~90℃
Precisão do controle de temperatura
Using three-point sampling (temperature of the measured object, inlet and outlet temperature of the temperature control system), the model-free self-building algorithm and the general anti-lag cascade algorithm are combined, and the controller predicts the control action without large lag.
Faixa de temperatura
The temperature control range of FLTZ -25℃~90℃ process chiller is from -25℃ to 90℃, which meets the temperature control requirements in most process processes. There is no need to replace other chillers during the process, which improves production efficiency.
Função de comunicação
Os protocolos de comunicação do chiller de processo incluem a interface RS485 com o protocolo Modbus RTU e a interface Ethernet com o protocolo TCP/IP, o que permite comunicar com seu equipamento ou construir um sistema.
Economia de energia com frequência variável
The chiller is equipped with a variable frequency pump. You can set the output pressure and flow of the circulating fluid on the operation panel. Under various piping conditions, the variable frequency pump can automatically control the set output pressure and flow without bypass pipe adjustment, thereby reducing the power consumed by the pump and achieving energy saving.
Ecrã tátil a cores
FLTZ -25℃~90℃ process chiller adopts LNEYA customized color touch screen, which can display various real-time information on the screen, such as the temperature and pressure of the inlet and outlet fluids, the current and voltage of each component, the liquid level of the water tank, etc.
Compression heating
When the temperature is within 40℃, FLTZ -25℃~90℃ process chiller can use the hot air generated by the compressor for heating without using a heater, which can achieve energy saving while recovering the heat generated by the compressor.
漏れなし
The entire system of the FLTZ -25℃~90℃ industrial process chiller is a fully closed circulation system, equipped with various well-known brands of magnetic drive pumps, which can effectively avoid leakage risks.
Inspeção de controle de qualidade
Cada chiller de processo passa por uma inspeção de 100% com hélio e inspeção de segurança, e é testado por 24 horas de operação contínua para garantir que o equipamento que você receberá seja seguro e confiável.
Application of FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
FLTZ -25℃~90℃ process chillers are commonly used in the semiconductor industry to assist front-end and back-end processes.
• Resfriamento e aquecimento de wafer
Durante o processo de fotolitografia e gravação, é necessário garantir que o wafer permaneça dentro de uma faixa de temperatura específica. Os chillers de processo FLTZ -25℃~90℃ podem fornecer um ambiente estável de baixa ou alta temperatura para garantir a estabilidade do material e evitar o impacto das mudanças de temperatura no processo.
• Controle preciso de temperatura no processo de fotolitografia
Durante o processo de fotolitografia, o controle de temperatura do sistema de exposição é muito importante para a cura do fotoresiste e a qualidade da transferência do padrão. Os chillers de semicondutores FLTZ -25℃~90℃ podem garantir que o sistema de exposição permaneça a uma temperatura estável.
• Controle de temperatura durante o empacotamento
Durante o processo de embalagem, a expansão e contração do material serão afetadas pelas mudanças de temperatura. Os chillers industriais FLTZ -25℃~90℃ podem ajustar a temperatura com precisão para evitar tensões, rachaduras e outros problemas causados pelas diferenças de temperatura durante o processo de embalagem, garantindo a qualidade da embalagem.
• Teste de adaptabilidade ambiental
Some semiconductor components will work at extreme temperatures. FLTZ -25℃~90℃ chiller can provide a wide temperature control range (-25℃ to 90℃) to test the performance of components under different temperature conditions and ensure the environmental adaptability of the product.
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