LNEYA Refrigeradores industriais Fabricante Fornecedor
Todos os modelos de chillers para semicondutores
Chiller Peltier
TEC -20℃~90℃
PRECISÃO DE TEMPERATURA ±0.1℃
Fornece controle de temperatura confiável e preciso para o processo de gravação de wafers
Temperatura do ponto de orvalho
≤30℃
≤30℃
Tensão de alimentação
AC208V-DC250V
Tensão de alimentação
AC208V-DC250V
Tensão de alimentação
Temperatura de ativação do CDA
＜30℃
＜30℃
O resfriador termoelétrico Peltier da LNEYA possui faixa de temperatura de -20 a 90℃, feito sob medida para a indústria de semicondutores;
Baseado no comprovado princípio de condução de calor Peltier, o sistema de controle de temperatura Peltier pode fornecer controle de temperatura repetível para aplicações de gravação por plasma; o controle dinâmico de temperatura do chuck eletrostático (ESC) permite sua aplicação em todos os tipos de processos de gravação.
TEC SERIES
-20°C
mais baixo
90°C
Mais alto
±0.1°C
Precisão do controle de temperatura
| Modelo | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temp. Gama | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Capacidade de arrefecimento | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Potência de aquecimento | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Fluxo | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Temperatura da água de arrefecimento | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Fluxo | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Princípio de funcionamento
1. Suporte de wafer (Chuck wafer carrier) 2. Bomba de circulação (Circulation pump) 3. Controlador (Controller) 4. Módulo de troca térmica termoelétrica (Thermoelectric heat exchange module) 5. Módulo de alimentação (Power module) 6. Entrada de água de resfriamento (Cooling water inlet) 7. Saída de água de resfriamento (Cooling water outlet)
Esta solução de controle de temperatura no local melhora significativamente a uniformidade do processo entre lotes de wafers e entre câmaras. Como funciona: o monitoramento em tempo real da temperatura do corpo da onda de refluxo da câmara é usado para ajustar dinamicamente a temperatura de fornecimento e compensar alterações na carga térmica durante o processo. *Sistema de controle de temperatura no local *Taxas de subida rápidas melhoram significativamente o rendimento da câmara *Sistema no ponto de uso sem compressor reduz o consumo de energia em aproximadamente 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
Funcionam completamente sem refrigerante e requerem muito pouca manutenção.
Você pode confiar na nossa fábrica de chillers Peltier
Somos um fornecedor de chillers muito potente com a nossa própria fábrica e mais de 20 anos de experiência na área de controlo de temperatura
Serviço global
Atendido mais de 30.000 clientes.
Exportado para mais de 20 países.
Patentes de certificação
Obteve a certificação CE, certificação SGS, certificação ISO.
Serviço pós-venda
Fornecer treinamento técnico completo.
Com soluções 24/7.
Equipa profissional
Fundada em 2010, com 15 anos de experiência no setor.
20% dos funcionários são técnicos.
Controle de qualidade
Inspeção visual.
Teste de desempenho.
Teste de segurança elétrica.
Perguntas Frequentes
O chiller Peltier oferece controle de temperatura rápido e preciso, capaz de atender a quaisquer requisitos exigentes de processo
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