Na construção do frigorífico criogénico, a bomba criogénica é indispensável. O fabricante de congeladores de baixa temperatura LNEYA diz a todos que a bomba criogénica deve ser utilizada de acordo com os requisitos aquando da sua instalação. As facilidades de instalação...

Meios e requisitos de instalação:

A bomba de anteparo - a bomba criogénica requer uma câmara de pré-vácuo da bomba de pré-estágio para retirar a pressão de arranque da bomba criogénica e para remover o gás gerado durante a regeneração quando a bomba criogénica é regenerada.

Adsorption well—Install the water-cooled baffle. If the oil vapor returns to the cryopump, the low-temperature freezer tells you that if its adsorption array is contaminated, the adsorption array must be replaced.

Válvula de alto vácuo instalada entre a bomba de criogénese e a câmara de vácuo, que pode encurtar o tempo de arranque, regenerar a bomba de criogénese sem deflação na câmara de vácuo e vazar a câmara de vácuo em qualquer altura.

Válvula de pré-bombeamento-Na porta de pré-bombeamento da bomba criogénica, deve ser instalada uma válvula. A válvula está aberta durante a pré-extração e a regeneração, e está fechada durante o funcionamento da bomba criogénica. A mesma bomba mecânica pré-extrai a câmara de vácuo.

Installation of compressor：

Certifique-se de que o compressor está colocado num nível estável.

Pressão estática - desligue o compressor e deixe-o à temperatura ambiente. A pressão deve situar-se entre 1,4-1,5 Mpa. Se a indicação de pressão for baixa, é necessário adicionar algum gás He (99,999% de pureza).

O tubo de água de arrefecimento ligado ao compressor está ligado ao compressor arrefecido a água.

Instalar a bomba criogénica:

Ligação de flange de alto vácuo

The cryostat Xiaobian tells you that the cryopump can be fixed in any place required by the vacuum chamber by means of its high vacuum flange. Please check whether the “O” ring is intact before installation, and the surface is free of indentation and debris. .

Ligação do orifício de aspiração e da válvula de segurança

A bomba criogénica não pode ser ventilada durante o funcionamento, pelo que é necessário pré-bombear a bomba criogénica através do orifício de sucção utilizando uma bomba grosseira, como uma bomba mecânica, antes de começar, e pode ser utilizada como uma saída para o gás libertado durante a regeneração. Certifique-se de que liga a porta de bombagem da bomba criogénica à bomba de pré-estágio do tamanho correspondente.

Ligar a bomba criogénica e o compressor

Retirar a bomba criogénica e o compressor, bem como as tampas de proteção de todas as juntas auto-vedantes da mangueira metálica.

Nota: Nunca utilize um produto de limpeza para limpar a junta auto-vedante nos passos seguintes.

Antes de efetuar a ligação, é necessário certificar-se de que não há pó, óleo, partículas, etc. na junta. Se necessário, utilizar uma escova para limpar a rosca. Utilizar um pano macio sem algodão para limpar a sujidade na superfície de vedação.

Ligar a mangueira metálica, ligar a mangueira de acordo com a direção do fluxo de ar, começar do compressor para a bomba criogénica, depois da bomba criogénica para o compressor, utilizar duas chaves para apertar cada junta auto-vedante para proteger a mangueira de torções e fugas. Aperte moderadamente cada junta. O congelador de baixa temperatura, que é bom, diz a todos que, depois de concluída a ligação, é verificada a indicação do manómetro do compressor. Se for de 1,3 a 1,5 MPa, é normal. Se for inferior a este valor, a pureza é superior a 99,999%, conforme descrito acima. Acrescente mais um pouco ao seu sufoco.

Nota especial: A mangueira metálica mantém uma pressão elevada de 1,4-1,5 MPa, pelo que deve ser utilizada com muito cuidado para evitar danos ou inversão.