ZLJ -40℃~-15℃
Refrigerador arrefecido a ar para o processo de produção de semicondutores- Compressor1.5hp~7hp
- RefrigeranteR404A R507C R448
- Gama de potência380V 50HZ pode escolher 220V
- Precisão da temperatura±0.5℃
Descarregamento de dados do produto
Controlo da temperatura nos processos de produção e ensaio de semicondutores
Tipo de arrefecimento direto do CHILLER
Os requisitos de controlo múltiplos podem ser alcançados através da fusão de vários dispositivos num armário maior
Utilizado para pequenas áreas de permuta de calor e grandes capacidades de permuta de calor

Detalhes de configuração
| Modelo | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| Faixa de temperatura | -40℃~-10℃ | ||||||
| Precisão do controle de temperatura | ±0.5℃ control evaporation temperature | ||||||
| Método de estrangulamento | Válvula de expansão eletrónica | ||||||
| Controlador | PLC da Siemens | ||||||
| Mostrar registo | Ecrã tátil de 7 polegadas, registo da temperatura, pressão do sistema e outras informações | ||||||
| Principais componentes | Filtro secador Danfoss, válvula solenoide Castor, sensor de pressão Johnson Controls, ventilador EBM (arrefecido a ar), separador de óleo Danfoss/Emerson, | ||||||
| Compressor | Secop, Taikang, Emerson, Carlisle | ||||||
| refrigerante | R404A(Opcional)/ R507C / R448 | ||||||
| Arrefecimento a alta temperatura | Com tecnologia de arrefecimento direto a 150 graus de temperatura elevada, para cumprir o objetivo da capacidade de arrefecimento rápido durante o funcionamento a alta temperatura | ||||||
| Compressor | 7/8HP | 1,5HP | 2HP | 3HP | 4HP | 6HP | 8HP |
| Fonte de alimentação V | 220V 50HZ | 380V 50HZ Pode ser personalizado 220V | |||||
Descrição do produto
Equipped with direct cooling technology at a high temperature of 150℃, meeting the target of rapid cooling ability during high-temperature operation
O produto produz e evapora diretamente o refrigerante no sistema de refrigeração para o elemento de controlo alvo (permutador de calor) para troca de calor, arrefecendo assim o objeto de controlo alvo. Em comparação com o fluido (gás) transportado para o permutador de calor, a capacidade de permuta de calor é geralmente mais de 5 vezes superior, o que é especialmente adequado para aplicações em que a área de permuta de calor do permutador de calor é pequena, mas a capacidade de permuta de calor é grande.
O frigorífico de arrefecimento direto também pode ser utilizado como captura de gás, o refrigerante é diretamente passado para a armadilha para evaporar, e o gás no espaço é rapidamente capturado através do efeito de condensação na superfície da armadilha.

aparência

1. interface do refrigerante 2. Pega portátil
3. Ecrã tátil 4. Pega portátil
5. Ranhura para cartão de ecrã tátil 6. Saída de ar

Proteção da segurança
Utilização da Schneider e de outras marcas de disjuntores de corrente residual, disjuntores de sequência de fase, protectores de nível de líquido, protectores de alta e baixa tensão e protectores de alta temperatura
Interface de comunicação de dados
A configuração padrão inclui um PT100, interface USB e interface de comunicação RS485. Podem ser seleccionados vários outros interfaces analógicos e sinais de contacto, bem como um interface Ethernet

Processo de candidatura
Amplamente aplicável a processos de gravação, deposição química de vapor e deposição física de vapor em fábricas de bolachas semicondutoras

Gravação de bolachas
Deposição de vapor químico
Deposição física de vapor

ETCH
DCV
PVD


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