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Mandril térmico

-75℃~225℃

Flatness of the plate ±15um
Plate temp uniformity ±1℃
Temperature Accuracy ±0.5℃
Energy are consumed

-75°C

mais baixo

225°C

Mais alto

±0.5℃

Precisão do controlo da temperatura

Gama de temperaturas  -70℃~200℃
(Can be customized in various temperature ranges)
Uniformidade da temperatura 土0.5℃
Taxa de aquecimento  -55℃~+25℃:12min
-40℃~+25℃:10 min
+25℃~+150℃:20 min
+25℃~+200℃:28 min
+25℃~+300℃:40 min
Taxa de arrefecimento +150℃~+25℃:25 min
+200℃~+25℃:30 min
+300℃~+25℃:40 min
+25℃~0℃:15 min
+25℃~-40℃:35 min
+25℃~-55℃:65 min
Método de arrefecimento Direct cooling system/liquid cooling system/air cooling system
Wafer adsorption type Vacuum adsorption
Chuck size φ330*58mm
Power supply 220V 50HZ 200~230V AC50/60HZ 16A max

Temperature control method

Built-in multiple temperature sensors, multi-zone temperature control, precise FII temperature control

Wafer carrier

Nickel-plated (gold/non-conductive), flexible connection with chuck, easy to replace, carrier flatness 3μm≤10μm

Comunicação

Modbus RTu protocol RS485 interface, optional CAN communication bus, Ethernet interface TCP/IP protocol

LNEYA nunca desilude os utilizadores!

Features of Vacuum Chuck

A maior inovação da MD em matéria de ensaios térmicos é a série de mandris controlados termicamente, que são principalmente utilizados para ensaios de desempenho, modelação, desenvolvimento de processos, defeitos de conceção ou análise de falhas de CI de bolachas semicondutoras. Pode efetuar mudanças rápidas de temperatura e controlar a temperatura com precisão. O sistema tem o seu próprio frigorífico, o que evita o consumo de nitrogénio líquido, dióxido de carbono, etc., e cada sistema inclui um mandril e uma unidade de controlo a frio e a quente.

LNEYA nunca desilude os utilizadores!

Demonstration of the ZLTZ temperature control system with a temperature-controlled chuck:

Real-time temperature monitoring
Real-time cooling rate monitoring
Real-time pressure monitoring

Outros modelos de refrigeradores de arrefecimento direto

sonda térmica

Precisão de temperatura ±0,2℃

refrigeradores de temperatura ultra baixa

precisão de temperatura ±1℃

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vacuum/thermal chuck

precisão de temperatura ±0,5℃

Pode confiar na nossa fábrica de refrigeradores portáteis

Somos um fornecedor de chillers muito potente com a nossa própria fábrica e mais de 20 anos de experiência na área de controlo de temperatura

Serviço global

Atendeu mais de 30.000 clientes.
Exportado para mais de 20 países.

Patentes de certificação

Obteve a certificação CE, certificação SGS, certificação ISO.

Serviço pós-venda

Fornece treinamento técnico abrangente.
Com soluções 24/7.

Equipa profissional

Fundada em 2010, com 15 anos de experiência no setor.
20% dos trabalhadores são técnicos.

Controlo de qualidade

Inspeção visual.
Teste de desempenho.
Teste de segurança eléctrica.

The size of chuck plate has a discs with diameters of 200 millimeters and 300 millimeters, a rectangular plate measuring 150 millimeters by 200 millimeters.
The surface treatment of the working platform is electroplating nickel, or gold plating can also be chosen.

No, in addition to positive pressure explosion-proof, we can also customize isolation explosion-proof that meets the standards according to your needs.

Temperature rise-60℃~+25℃2min
0℃~+25℃2min
+25℃~+220℃6min
Temperature fall+220℃~+25℃2min
+25℃~-60℃6min
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