Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process
Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.
Aplicações
Temperature control system for production process and testing links.
Applied in semiconductors, LEDs, LCDs, solar photovoltaics and other fields;
The variable frequency pump can adjust the circulating fluid pressure and flow, Circulation heating can be achieved without a heater;
Multi-channel independent temperature control, no mutual influence.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
Série de conversão de frequência FLTZ
Temperature control range: -45℃~+90℃
The chiller’s exhaust and suction temperature (pressure), condensing temperature, cooling water temperature (pressure), inlet and outlet liquid (gas) temperature (pressure), power consumption, current of each component, voltage, water tank level and other important information are all connected to the control system through sensors for comprehensive management, monitoring and recording.
Modelo |
5℃~90℃ |
-25℃~90℃ |
-45℃~90℃ |
-80℃~+90℃ |
-100℃~+90℃ |
Precisão do controlo da temperatura |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
±0.05℃ |
Capacidade de arrefecimento |
6KW~40KW @10℃ |
2KW~15KW @-15℃ |
1KW~8KW @-35℃ |
0.6KW~3KW @-70℃ |
1.5KW~3KW @-90℃ |
Rated test conditions for all equipment: Dry bulb temperature: 20℃; Wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; Outlet water temperature: 25℃.
FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series
Temperature control range: -45℃~+100℃
Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems.
The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.
Modelo |
FLTZ-203W/2T dual system |
FLTZ-305W/2T dual system |
FLTZ-406W/2T dual system |
Gama de temperaturas |
-20℃~90℃ |
-30℃~90℃ |
-45℃~90℃ |
Precisão do controlo da temperatura |
±0.1℃ |
Heat conducting medium flow rate |
15~45l/min 6bar max |
Capacidade de aquecimento |
2.5kW |
2.5kW |
2.5kW |
2.5kW |
3,5 kW |
3,5 kW |
Capacidade de arrefecimento |
3kW @-15℃ |
3kW @-15℃ |
5kW @-15℃ |
5kW @-15℃ |
2.5kW @-35℃ |
2.5kW @-35℃ |
Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.
ETCU Heat Exchange Chiller Series
Adopting compressor-free refrigeration system
temperature control range is: 5℃~+90℃
temperature control accuracy: ±0.05℃
Modelo |
ETCU-005W |
ETCU-015W |
ETCU-030W |
ETCU-050W |
ETCU-100W |
ETCU-200W |
ETCU-300W |
Gama de temperaturas |
Cooling water temperature +5℃~90℃ |
Precisão do controlo da temperatura |
±0.05℃(Steady state outlet temperature) |
Temperatura da água de arrefecimento |
7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves |
Capacidade de arrefecimento |
5kW |
15kW |
30kW |
50kW |
100kW |
200kW |
300kW |
Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.
AES Series Thermal Stream
Thermal Solutions for ATE testing
temperature control range is: -115℃~225℃
temperature control accuracy: ±0.1℃
Modelo |
AES-4535 AES-4535W |
AES-6035 AES-6035W |
AES-8035 AES-8035W |
AES-A1035W |
AES-A1235W |
Gama de temperaturas |
-40℃~225℃ |
-60℃~225℃ |
-80℃~225℃ |
-100℃~225℃ |
-120℃~225℃ |
Precisão da temperatura |
±0.1℃(Steady state outlet temperature) |
Air requirements |
Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity:5℃-32℃ 0-50%RH |
Air treatment capacity |
10m³/h-m³/h pressure 5bar-7.6bar |
Contact LNEYA technical engineer for model selection
refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab
advantages
- Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
- Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
- Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
- Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
- Adotando a bomba de acionamento magnético, não há problema de vazamento de vedação do eixo;
- Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.
A bomba de frequência variável pode ajustar a pressão hidráulica de circulação e o caudal
Heating function
Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.
Função de comunicação
O equipamento de série inclui comunicação série (RS232C, RS485) e entrada/saída de contacto. Pode comunicar com dispositivos do cliente ou criar sistemas.
client output signal
Customized Chiller Solutions
Produtos recomendados
Controlo de temperatura :-120℃~350℃
Controlo de temperatura para reator de alta pressão; Reactor de vidro de camada dupla; Reactor de camada dupla; Reator de microcanal; Sistema de destilação; Teste de envelhecimento do material; Câmara de vácuo etc.
Controlo de temperatura: -40℃~100℃
Simulação de temperatura para o teste de qualidade do veículo: teste da duração da bateria, banco de ensaio do injetor/motor de combustível, teste do airbag, banco de ensaio de componentes, etc. Pode simular as condições ambientais externas na câmara climática ou substituir o sistema interno, o que pode criar as condições de temperatura reais necessárias para o banco de ensaio.
Controlo de temperatura: -85℃~250℃
Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process)
Accept Customized Outdoor Chiller and Indoor Chiller
rovide 7 * 24 free consultation & comprehensive solutions