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Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

Série de conversão de frequência FLTZ

Modelo 5℃~90℃  -25℃~90℃  -45℃~90℃  -80℃~+90℃  -100℃~+90℃
Precisão do controlo da temperatura ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃
Capacidade de arrefecimento 6KW~40KW @10℃ 2KW~15KW @-15℃ 1KW~8KW @-35℃ 0.6KW~3KW @-70℃ 1.5KW~3KW @-90℃

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Modelo -20℃~+90℃  -45℃~+80℃ -10℃~+80℃  -25℃~+100℃
Pipeline channel 2 channel 2 channel 3 channel 3
Precisão do controlo da temperatura ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
Capacidade de arrefecimento 4kW@-10℃ 11kW@-20℃
5kW@-40℃
4kW@-10℃/21kW@+20℃ 13kW@PCW+15℃
Capacidade de aquecimento 2kW 2kW 4.5+6kW 6kW

Modelo FLTZ-203W/2T dual system FLTZ-305W/2T  dual system FLTZ-406W/2T dual system
Gama de temperaturas -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
Precisão do controlo da temperatura ±0.1℃
Heat conducting medium flow rate 15~45l/min 6bar max
Capacidade de aquecimento 2.5kW 2.5kW 2.5kW 2.5kW 3,5 kW 3,5 kW
Capacidade de arrefecimento 3kW @-15℃ 3kW @-15℃ 5kW @-15℃ 5kW @-15℃ 2.5kW @-35℃ 2.5kW @-35℃

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Modelo ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Gama de temperaturas Cooling water temperature +5℃~90℃
Precisão do controlo da temperatura ±0.05℃(Steady state outlet temperature)
Temperatura da água de arrefecimento 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Capacidade de arrefecimento 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW

AES Series Thermal Stream

Modelo AES-4535
AES-4535W
AES-6035
AES-6035W
AES-8035
AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
Gama de temperaturas -40℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
Precisão da temperatura ±0.1℃(Steady state outlet temperature)
Air requirements Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity:5℃-32℃ 0-50%RH
Air treatment capacity 10m³/h-m³/h  pressure 5bar-7.6bar

Contact LNEYA technical engineer for model selection

  • Resultados eficientes em termos de estabilidade e repetibilidade da produção;
  • Utilização de permutadores de calor de placas e aquecedores de condutas para melhorar as taxas de arrefecimento e aquecimento;
  • Gama de temperaturas muito ampla, sem necessidade de substituir o meio líquido;
  • Sistema totalmente fechado, que prolonga a vida útil dos líquidos condutores de calor;
  • Adotando a bomba de acionamento magnético, não há problema de vazamento de vedação do eixo;
  • Tecnologia de arrefecimento de alta temperatura, iniciar diretamente o compressor para arrefecer a 300 ℃.

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Multicanal

Canal 1Canal 2Canal 3

Temperature control range

-30℃~25℃-80℃~90℃5℃~90℃-60℃~-30℃*
Submeter....
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Erro de correio eletrónico!
Erro telefónico!

Controlo de temperatura :-120℃~350℃

Controlo de temperatura: -40℃~100℃

Controlo de temperatura: -85℃~250℃

Outdoor Chiller

Indoor Chiller