ZLJ-40℃~-15℃

Resfriador a ar para processo de produção de semicondutores

Chiller de Resfriamento Direto Resfriadores de teste de semicondutores

Compressor1.5hp ~ 7hp
RefrigenteR404A R507C R448
Faixa de potência380V 50HZ pode escolher 220V
Precisão de temperatura± 0.5 ℃

direct cooled chiller semiconductor cooling

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O produto emite e evapora diretamente o refrigerante no sistema de refrigeração no elemento de controle de destino (trocador de calor) para troca de calor, resfriando assim o objeto de controle de destino. Em comparação com o fluido (gás) transportado para o trocador de calor, a capacidade de troca de calor é geralmente 5 vezes maior, o que é especialmente adequado para aplicações onde a área de troca de calor do trocador de calor é pequena, mas a capacidade de troca de calor é grande.

O refrigerador de resfriamento direto também pode ser usado como captura de gás, o refrigerante é passado diretamente para o purgador para evaporar e o gás no espaço é rapidamente capturado pelo efeito de condensação na superfície do purgador.

Descrição do produto

Detalhes de configuração

Modelo	ZLJ-41.0	ZLJ-41.5	ZLJ-42	ZLJ-43	ZLJ-44	ZLJ-46	ZLJ-48
Modelo	ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5W	ZLJ-42W	ZLJ-43W	ZLJ-44W	ZLJ-46W	ZLJ-48W
Faixa de temperatura	-40℃~-15℃
Precisão do controle de temperatura	±0.5℃ controle de temperatura de evaporação
Método de estrangulamento	Válvula de expansão eletrônica
controlador	Siemens PLC
Mostrar registro	Tela sensível ao toque de 7 polegadas, registra temperatura, pressão do sistema e outras informações
Componentes principais	Filtro secador Danfoss, válvula solenoide Castor, sensor de pressão Johnson Controls, ventilador EBM (resfriado a ar), separador de óleo Danfoss/Emerson,
Compressor	Secop, Taikang, Emerson, Carlisle
Refrigerante	R404A Opcional R507C R448
Resfriamento de alta temperatura	Com tecnologia de resfriamento direto de alta temperatura de 150 graus, para atingir a meta de capacidade de resfriamento rápido durante operação em alta temperatura
Compressor	7 / 8HP	1.5HP	2HP	3HP	4HP	6HP	8HP
Fonte de alimentação V	220V 50HZ			380V 50HZ Pode ser personalizado 220V

Modelo	ZLJ-81.0 ZLJ-81.0W	ZLJ-81.5 ZLJ-81.5W	ZLJ-82 ZLJ-82W	ZLJ-83 ZLJ-83W	ZLJ-84 ZLJ-84W	ZLJ-86 ZLJ-86W	ZLJ-88 ZLJ-88W
Faixa de temperatura	-80℃~-50℃
Precisão do controle de temperatura	±0.5℃ controle de temperatura de evaporação
Refrigerado @-70℃	0.37 kW	0.5 kW	0.75 kW	1.1 kW	1.5 kW	2.6 kW	3.1 kW
Refrigerante	R404A/R508B
Resfriamento de alta temperatura	Possui tecnologia de resfriamento direto de alta temperatura de 150°C para atingir a meta e resfriar rapidamente durante a operação em alta temperatura
Potência	220V 50HZ			380V 50HZ 220V pode ser personalizado
Quebrador	10	16	25	16	16	25	32

É apropriado para a etching, chemical vapor deposition, and physical vapor deposition processes in semiconductor wafer factories, and can accurately control the temperature of the reaction chambers of ETCH, CVD, and PVD process equipment.

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