Semicondutores

Temperatura rápida/estável/constante

Controlo preciso da temperatura de muitos processos na produção de semicondutores. Aplicar camadas extremamente finas, mascarar parcialmente e remover partes não cobertas com precisão absoluta num número quase ilimitado de passos individuais. Os banhos de gravação têm de ser mantidos dentro de um intervalo de temperatura ótimo para manter as taxas de gravação constantes e previsíveis nos processos químicos húmidos. Isto requer a utilização de soluções de controlo de temperatura absolutamente precisas e fiáveis.

Controlo da temperatura de banhos de gravação para o fabrico químico húmido de bolachas e microchips. Outras aplicações são os testes funcionais e de materiais de componentes eléctricos e electrónicos e grupos funcionais que utilizam fluidos térmicos não condutores, como o Galden ou o FC77. Um sistema de controlo de temperatura perfeitamente equilibrado não só melhora os resultados da produção, como também aumenta a fiabilidade do processo e reduz o tempo de produção, os custos e a manutenção.

TES-NM65NT

Com câmara de teste

Faixa de controle de temperatura: -60 ℃ ~ 200 ℃

Potência de aquecimento: 5,5kW

Potência de arrefecimento: 1.2kW~5.5kW

Potência MAX: 12kW

Tipos: Chillers arrefecidos a água / Chillers arrefecidos a ar

SUNDI-15W

Para teste de chips

Faixa de controle de temperatura: -100 ℃ ~ 200 ℃

Potência de aquecimento: 5,5kW

Potência de arrefecimento: 1.2kW~5.5kW

Potência MAX: 12kW

Tipos: Chillers arrefecidos a ar

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